| 新聞:上海氣路工程安裝|實驗室氣路改造專業(yè)團隊 |
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新聞:上海氣路工程安裝|實驗室氣路改造專業(yè)團隊![]() (卸塵、輸塵輸塵風(fēng)機、脈沖閥、風(fēng)閥)檢修操作:觸摸屏主菜單里選擇檢修,觸摸屏將自動轉(zhuǎn)換到檢修運行頁面,各相應(yīng)的控制按鈕所控電機或者電器只能點動,松開按鈕則停止運行。這項操作可檢查單臺電機和電器的運行是否正常,給維修人員提供一個便捷方式。設(shè)備自動、手動運行中,由裝在主風(fēng)管上壓力變送器檢測壓力信號,壓力變送器根據(jù)壓力變化輸出4-2mA至壓力調(diào)節(jié)儀,調(diào)節(jié)儀自動調(diào)節(jié)除塵風(fēng)機變頻器,變頻器控制調(diào)整除塵負壓輸出,并由調(diào)節(jié)儀顯示壓力變化情況及監(jiān)控輸出。 實驗室供氣方式是采用將氣瓶安置在儀器設(shè)備的旁邊,危險氣體的氣瓶放置在氣瓶柜內(nèi)。排氣采用直接排放到實驗室或是通過簡易的管道排放到窗外。在實驗室的發(fā)展過程中,隨著實驗室儀器設(shè)備的增加,實驗室內(nèi)經(jīng)常是密布著各種各樣的管道和氣瓶。這樣處理既造成了非常大的安全隱患,也不美觀。 實驗室的很多設(shè)備的運行都需要各種各樣的氣體供應(yīng),同時也會產(chǎn)生廢氣。如何既安全又方便地解決供排氣問題,也是一直以來困擾實驗室工作人員的問題之一。 正確的實驗室供排氣的解決方案是把實驗室的供排氣看作一個系統(tǒng)。這個系統(tǒng)要考慮到安全性、便利性、日常實驗室的管理、氣瓶的更換等問題,同時要重點考慮實驗室今后的發(fā)展,對于特殊氣體還要考慮特殊的技術(shù)解決方案。 (一)設(shè)計標準 1、《工業(yè)金屬管道設(shè)計規(guī)范》[GB50316-2000(2008版)]; 2、《工業(yè)金屬管道工程施工及驗收規(guī)范》(GB50235-1997); 3、《現(xiàn)場設(shè)備、工業(yè)管道焊接工程施工及驗收規(guī)范》(GB50236-1998); 4、《乙炔站設(shè)計規(guī)范》(GB50031-1991); 5、《氫氧站設(shè)計規(guī)范》(GB50177-2005); 6、《氧氣站設(shè)計規(guī)范》(GB50030-1991); 7、《壓縮空氣站設(shè)計規(guī)范》(GB50029-2003); 8、《深度冷凍法生產(chǎn)氧氣及相關(guān)氣體安全技術(shù)規(guī)程》(GB16912-2008)。 (二)技術(shù)要求 1、氣瓶間: ①氣瓶間應(yīng)采用300mm厚實體墻,安裝防爆門,設(shè)置泄爆窗; ②室內(nèi)電器設(shè)備均應(yīng)具備防爆功能; ③室應(yīng)安裝排氣扇,時刻保持良好的通風(fēng)狀態(tài); 2、供氣系統(tǒng)要求采用兩級減壓的方式進行供氣,供氣匯流排次減壓,氣體由15Mpa減壓到1.5Mpa以下,再輸送到各用氣實驗室,二級減壓器安裝在各用氣實驗室或用氣點,方便統(tǒng)一控制通風(fēng)柜或儀器用氣的輸入壓力,用氣終端配有中壓球閥和壓力指示表,二級減壓器對壓力進行調(diào)整(0.01Mpa),得到穩(wěn)定的壓力,可以滿足儀器對不同使用壓力的要求,一、二級減壓器均配有壓力表,可實時顯示當前壓力; 3、采用雙側(cè)匯流排半自動方式不間斷供氣,充分滿足實驗室的使用要求,更換氣瓶時,可通過安裝在高壓軟管下面的卡套進行氣瓶更換; 4、氫氣和乙炔屬于易燃氣體,應(yīng)設(shè)計氣體泄露探測報警裝置,并安裝阻火器,防止明火回流,易燃與助燃氣體敷設(shè)應(yīng)保證足夠的安全距離。 ![]() 新聞:上海氣路工程安裝|實驗室氣路改造專業(yè)團隊 調(diào)節(jié)閥選型的原則根據(jù)工藝條件,選擇合適的結(jié)構(gòu)形式和材料。根據(jù)工藝對象的特點,選擇調(diào)節(jié)閥的流量特性。根據(jù)工藝操作參數(shù),選擇合適的調(diào)節(jié)閥口徑尺寸。根據(jù)工藝過程的要求,選擇所需要的輔助裝置。合理選擇執(zhí)行機構(gòu)。執(zhí)行機構(gòu)的響應(yīng)速度應(yīng)能滿足工藝對控制行程時間的要求:所選用的調(diào)節(jié)閥執(zhí)行機構(gòu)應(yīng)能滿面足閥門行程和工藝對泄露量等級的要求。在某些場合,如選用壓力調(diào)節(jié)閥(包括放空閥),應(yīng)考慮實際可能的壓差進行適當?shù)姆糯,即要求?zhí)行機構(gòu)能提供較大的作用力。 ![]() (三)工程用材 1、管道、球閥、卡套和三通等為316L不銹鋼,減壓器為高純氣體減壓器(不銹鋼閥芯),高壓軟管(連接鋼瓶和匯流排)為不銹鋼波紋管,在高壓軟管的進氣端,配置單向閥,可以防止更換鋼瓶時,軟管內(nèi)的氣體外泄,同時避免外界的空氣混入氣路之中; 2、管道系統(tǒng):所有的氣體管道選用BA級別的316L不銹鋼管,在管路上有個過濾雜質(zhì)和水分的凈化裝置,使氣體在流通過程中不至于被管道系統(tǒng)污染,保證氣體的純度,同時要有明確標示,指示氣體的流向; 3、管道的連接:匯流排、終端部分采用卡套連接,便于減壓器和閥門的維護管理; 4、終端:在每臺儀器之前,配置截止閥和二級減壓器(每種氣體配置一個)。截止閥用于控制每一個氣路的開啟與關(guān)閉;在儀器需要調(diào)整和維修時,能停止任何的儀器的氣體供應(yīng),減壓器用于顯示和調(diào)整終端的壓力。 (四)其它 1、氣體管路每間隔1.5m采用管碼支架固定,并根據(jù)氣體管路彎曲的直徑,設(shè)置合適的支架位置; 2、整個管路安裝完畢后,對整個系統(tǒng)做壓力測試。參照《工業(yè)金屬管道工程施工及驗收規(guī)范》,管路系統(tǒng)在保壓24小時后,壓力無下降為合格。 新聞:上海氣路工程安裝|實驗室氣路改造專業(yè)團隊 ![]() AMC對當前的IC生產(chǎn)其潛在的污染比粒子污染要廣泛多,粒子污染控制只要確定粒徑及個數(shù),但對AMC控制而言,除了受芯片線寬的縮小而變化外,并受工藝、工藝設(shè)備、工藝材料及園片傳送系統(tǒng)等的影響,更有甚者用于某一工序的各種工藝材料(化學(xué)品、特種氣體等)在很多情況下其微量的分子對下一工序往往可能是污染物,而園片加工工序當前已多于3多個獨立工序,對AMC控制指標的確定更是復(fù)雜。IC生產(chǎn)對AMC的控制,對不同的產(chǎn)品、不同的工藝、不同的工序及不同的工藝材料會有不同的要求,對各種污染物質(zhì)的要求當前總的說法是控制在亞pptm~1pptm間。 |
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