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5100系列質(zhì)量流量控制器
5100系列質(zhì)量流量控制器 價(jià)格:  元(人民幣) 產(chǎn)地:日本
最少起訂量:1 發(fā)貨地:上海
上架時(shí)間:2020-05-06 09:08:31 瀏覽量:1311
上海盈熾商貿(mào)有限公司  
經(jīng)營(yíng)模式:貿(mào)易型 公司類型:
所屬行業(yè):空氣泵 主要客戶:
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聯(lián)系方式

聯(lián)系人: (先生) 手機(jī):18918094369
電話: 傳真:
郵箱:2748189220@qq.com 地址:上海市

詳細(xì)介紹

5100系列是一款質(zhì)量流量控制器,它實(shí)現(xiàn)了無焊接結(jié)構(gòu)(VCR規(guī)格),金屬密封的基本性能,以及半導(dǎo)體工藝氣體控制所需的±1%精度。
板載傳感器的響應(yīng)能力。它具有出色的分辨率,可以處理1 sccm(N2)的微流量。

 通過使用溫度跟蹤型電流差檢測(cè)流量傳感器實(shí)現(xiàn)高精度,高速傳感器響應(yīng)

采用電磁鐵電磁閥常閉閥

由于無焊接結(jié)構(gòu)(VCR規(guī)格),金屬密封,泄漏低

采用隔膜閥,減少死體積

面對(duì)面,體型和接線連接與其他公司的更換兼容


技術(shù)參數(shù):

流量范圍
(N2轉(zhuǎn)換20°C / 1 ATM)
1SCCM~20SLM(任意條件選擇)
傳感器方式 熱繞組傳感器


閥門方式 比例螺線管閥門(未通電時(shí)關(guān)閉)
控制范圍 2~100%(F.S.)
響應(yīng)速度 1秒內(nèi)(±2%F.S.內(nèi))
準(zhǔn)確性 ±1%F.S.
溫度系數(shù) 0.1%F.S./°C(15~35°C)
再現(xiàn)性 ±0.2%F.S.
操作壓差范圍 F.S.≤5SLM50. 300kPa
F. S.> 5 SLM 100. 300 kPa
選項(xiàng):低壓差規(guī)格(LP)可根據(jù)條件制造
可工作壓力 300kPa(G)以下
耐壓 980kPa(G)
He泄漏率 1 x 10-11 Pa.m3/s以下
允許周圍溫度 0~50℃
允許環(huán)境濕度 10~90%RH(無結(jié)露)
氣體接觸材料 車身SUS316L
隔膜SUS316L
閥座PTFE
密封材料SUS316L,Ni,Au
選項(xiàng):SUS密封(SU),內(nèi)部磨削規(guī)格(KP)
電氣連接 Dsub 9針KFC 標(biāo)準(zhǔn)(符合SEMI標(biāo)準(zhǔn))
流量設(shè)定
輸入信號(hào)
0~5 VDC(輸入阻抗1MΩ以上)
流量輸出信號(hào) 0~5 VDC(外部負(fù)載電阻250kΩ以上)
所需電源 +15 VDC(±5%)100 mA,
-15 VDC(±5%)200 mA
配件(車身尺寸) 標(biāo)準(zhǔn)1/4 VCR等效選項(xiàng)1/4 SWL
重量


約1000g


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