| 立式擴(kuò)散爐 |
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價(jià)格： 元(人民幣) | 產(chǎn)地：本地 |
| 最少起訂量：1 | 發(fā)貨地：本地至全國(guó) | |
| 上架時(shí)間：2020-04-22 06:59:04 | 瀏覽量：127 | |
青島育豪微電子設(shè)備有限公司
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| 經(jīng)營(yíng)模式：其他 | 公司類(lèi)型： | |
| 所屬行業(yè)：其他儀器儀表分類(lèi) | 主要客戶：全國(guó) | |
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§擴(kuò)散爐：應(yīng)用于集成電路、分立器件、光電子器件、電力電子器件、太陽(yáng)能電池等領(lǐng)域，用2~8英寸工藝尺寸 系統(tǒng)組成：擴(kuò)散爐主機(jī)、升降絲杠、微機(jī)控制柜等組成。 主要技術(shù)指標(biāo)： ★爐管內(nèi)徑：￠90~￠500 ★恒溫區(qū)長(zhǎng)度及精度：≤1000mm±0.5℃（300℃~1290℃） ★氣體種類(lèi)：n2、h2、o2、hcl等 ★氣源控制：mfc或浮子流量計(jì) ★推拉舟行程：大1800mm ★推拉舟速度范圍及精度：（20~1000）±2mm/min ★冷卻方式：水冷+風(fēng)冷 設(shè)備特性： 控制系統(tǒng)分類(lèi)產(chǎn)品： 溫控系統(tǒng)包括：日本fp23+sr23+sr23配置、日本mi13配置、以及日本fp93配置等等… 觸摸屏配置包括：日本三菱、日本歐姆龍、日本松下、廈門(mén)宇電、以及公司自制研發(fā)8500系列高精度控溫系統(tǒng)…控制柜、 氣路管件控制系統(tǒng)：日本山武、日本smc、德國(guó)費(fèi)斯托、以及國(guó)產(chǎn)七星華創(chuàng)等品牌… 
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