| 程控擴散爐 |
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價格： 元(人民幣) | 產(chǎn)地：本地 |
| 最少起訂量：1 | 發(fā)貨地：本地至全國 | |
| 上架時間：2020-04-22 06:59:01 | 瀏覽量：94 | |
青島育豪微電子設(shè)備有限公司
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| 經(jīng)營模式：其他 | 公司類型： | |
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§擴散爐主要滿足半導體電力電子器件行業(yè)、大功率集成電路等行業(yè)，對所加工硅片進行擴散、氧化、退火、合金等工藝。主要由擴散爐加熱爐體、氣源系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、超凈化操作系統(tǒng)等組成。選用工控機微控方式或者程控方式操作。 主要技術(shù)指標： §★可處理硅片尺寸：2—8英寸 ★外型形式：臥式1—4管結(jié)構(gòu) ★工作溫度：200℃—1300℃ §★恒溫區(qū)長度及精度：200mm—1100mm≤±0.5℃ ★單點溫度穩(wěn)定性、重復性：≤±0.5℃／24h §★溫度斜變：可控升溫速率20℃／min， ★可控降溫速率：5℃／min §★送片裝置：全自動懸臂推拉舟、拉桿是推拉舟、手動推拉 ★氣路系統(tǒng)：1—5路工藝氣體／管 §★氣體控制：全自動mfc、手動浮子流量計 ★控制方式：工控機、觸摸屏 
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