| 全自動(dòng)擴(kuò)散爐 |
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價(jià)格: 元(人民幣) | 產(chǎn)地:本地 |
| 最少起訂量:1 | 發(fā)貨地:本地至全國 | |
| 上架時(shí)間:2020-04-22 06:58:58 | 瀏覽量:93 | |
青島育豪微電子設(shè)備有限公司
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| 經(jīng)營模式:其他 | 公司類型: | |
| 所屬行業(yè):其他儀器儀表分類 | 主要客戶:全國 | |
在線咨詢 ![]() |
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| 聯(lián)系人:銷售部 () | 手機(jī):13864877323 |
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| 郵箱: | 地址:山東省青島市城陽區(qū)流亭工業(yè)園協(xié)榮路3號 |
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§擴(kuò)散爐應(yīng)用于半導(dǎo)體器件、分立器件、光電子器件、電力電子器件、太陽能電池及大規(guī)模集成電路制造等領(lǐng)域?qū)M(jìn)行擴(kuò)散、氧化、淀積、退火及合金等工藝的熱加工設(shè)備
.主要由加熱爐、凈化工作臺、推拉舟系統(tǒng)、氣源柜、控制系統(tǒng)等組成。采用高精度智能化及性能極為先進(jìn)的儀器,適合連續(xù)長時(shí)間、高精度、高穩(wěn)定度控溫工作,性能十分可靠。
§全自動(dòng)程控?cái)U(kuò)散爐 §具有可編程的升、降溫功能 §可保存多條工藝曲線,每條曲線可設(shè)置多步。 ★工藝曲線的自動(dòng)運(yùn)行控制功能。 ★自動(dòng)運(yùn)行中可暫停/繼續(xù)運(yùn)行功能。 ★工藝中可強(qiáng)制跳到下一個(gè)工藝步運(yùn)行功能。 ★智能升降溫斜率制功能。 ★pid參數(shù)自整定功能。 ★系統(tǒng)故障的檢測與報(bào)警功能。 ★智能懸臂推拉舟控制功能。 ★停電后斷點(diǎn)繼續(xù)運(yùn)行功能。 ★工藝氣體的程序控制功能(電磁閥/質(zhì)量流量控制器)。 ★可根據(jù)用戶的特殊要求增減或開發(fā)相應(yīng)的功能。 主要技術(shù)指標(biāo): ★工作溫度范圍:300℃-1300℃; ★恒溫區(qū)長度范圍:300mm-800mm; ★恒溫區(qū)精度范圍:600℃-1300℃≤±0.5℃; 300℃-600℃≤±1℃ ★開機(jī)重復(fù)性:±1℃ ★升溫時(shí)間:60min; ★溫速率可控范圍:爬升率20℃m(大)下降率5℃/min(大)
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