| 太陽能光伏擴(kuò)散爐 |
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價(jià)格： 元(人民幣) | 產(chǎn)地：本地 |
| 最少起訂量：1 | 發(fā)貨地：本地至全國 | |
| 上架時(shí)間：2020-04-22 06:58:56 | 瀏覽量：89 | |
青島育豪微電子設(shè)備有限公司
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| 經(jīng)營模式：其他 | 公司類型： | |
| 所屬行業(yè)：其他儀器儀表分類 | 主要客戶：全國 | |
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| 聯(lián)系人:銷售部 () | 手機(jī):13864877323 |
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§◆工作溫度：
300~1300℃ ◆有效口徑根據(jù)用戶擴(kuò)散片確定，可訂制 ◆恒溫區(qū)長度： 1080mm（可根據(jù)用戶要求定制） ◆溫區(qū)精度 (靜態(tài)閉管測(cè)試)： 600℃＜工作溫度＜1200℃：±0.5℃ 300℃≤工作溫度≤600℃：±1℃ ◆單點(diǎn)溫度穩(wěn)定性(靜態(tài)閉管測(cè)試)： 600℃＜工作溫度＜1200℃：±0.5℃/24h 300℃≤工作溫度≤600℃：±1℃/24h ◆溫度斜變能力： 大可控升溫速度(300～1300℃)：15℃/min 大降溫速度(1300～900℃)： 5℃/min ◆氣體流量設(shè)定精度：±2％fs ◆氣路系統(tǒng)氣密性： 1×10-7pa.m3/s ◆自動(dòng)送料裝置行程： ~2000mm 速度： 5~1000mm/min sic漿承重 19kg ◆裝片數(shù)量 400片/管 ◆凈化臺(tái)潔凈度 100級(jí)（10000級(jí)廠房） ◆三相五線制 380v±10%，50hz±10%hz； ◆冷卻水： 2～4kgf/cm2，～8l/min 太陽能電池?cái)U(kuò)散主要有開管擴(kuò)散和閉管軟著陸擴(kuò)散兩種形式◆閉管磷擴(kuò)散，帶有工藝廢氣冷卻定向回收裝置，偏磷酸、cl2分開收集處理；工藝廢氣集中收集從尾部定向排出；各種工藝氣體可分開送入石英管內(nèi)，工藝氣體(三氯氧磷)可采用噴淋式方式引入到石英管內(nèi)。閉管軟著陸擴(kuò)散方式工藝過程完全不受外界環(huán)境干擾，工藝質(zhì)量完全受保護(hù)。 ◆自動(dòng)化程度：自動(dòng)控制溫度及工藝過程。主控溫控模塊采用國外進(jìn)口，可在達(dá)到±0.25℃的控制精度。 ◆送取片方式：懸臂式推拉舟。采用側(cè)面布局的懸臂推拉結(jié)構(gòu)，可有效的防止偏磷酸下滴，造成推拉機(jī)構(gòu)受腐蝕，影響推拉機(jī)構(gòu)的精確性。 
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