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LPCVD化學(xué)相沉積設(shè)備

	價格：元(人民幣)	產(chǎn)地：本地
	最少起訂量：1	發(fā)貨地：本地至全國
	上架時間：2020-04-22 06:58:52	瀏覽量：106
	青島育豪微電子設(shè)備有限公司
	經(jīng)營模式：其他	公司類型：
	所屬行業(yè)：其他儀器儀表分類	主要客戶：全國
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聯(lián)系方式

聯(lián)系人:銷售部 ()	手機(jī):13864877323
電話:	傳真:
郵箱:	地址:山東省青島市城陽區(qū)流亭工業(yè)園協(xié)榮路3號

詳細(xì)介紹

用途：用于半導(dǎo)體器件工藝中氮化硅、二氧化硅、多晶硅的薄膜制備
特點(diǎn)：一次設(shè)定自動完成，可另配氣柜。真空系統(tǒng)可選配進(jìn)口機(jī)組
主要技術(shù)指標(biāo)：制備3-4吋氮化硅、多晶硅和二氧化硅薄膜；溫度：400~900℃；
恒溫區(qū)600mm±0.5℃；真空系統(tǒng)機(jī)械泵+羅茨泵，配有抽氣冷井；
控溫器采用進(jìn)口5吋觸摸屏；通入氣體sih4/nh3/n2;
進(jìn)口質(zhì)量流量計控制；閥門用進(jìn)口氣動閥和減壓閥；動作順序?yàn)閜lc編程控制；
薄膜壓力控制器加閥閉環(huán)控制壓強(qiáng)

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