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任氏巨源微波等離子體化學(xué)氣相沉積爐
任氏巨源微波等離子體化學(xué)氣相沉積爐 價(jià)格:228000  元(人民幣) 產(chǎn)地:河北唐山市
最少起訂量:1臺(tái) 發(fā)貨地:河北唐山市
上架時(shí)間:2020-04-21 14:42:52 瀏覽量:292
唐山任氏巨源微波儀器有限公司  
經(jīng)營(yíng)模式:生產(chǎn)加工 公司類型:私營(yíng)有限責(zé)任公司
所屬行業(yè):科學(xué)儀器/實(shí)驗(yàn)儀器 主要客戶:高校實(shí)驗(yàn)室、科研院所科研人員
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聯(lián)系方式

聯(lián)系人:董強(qiáng) (先生) 手機(jī):15230983056
電話: 傳真:
郵箱:542701505@qq.com 地址:河北省唐山市路北區(qū)韓城西部經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)任氏集團(tuán)

詳細(xì)介紹

一、任氏巨源微波等離子體化學(xué)氣相沉積爐應(yīng)用:該款具有高電離度、高電子溫度和電子密度、適用壓強(qiáng)范圍寬、無(wú)內(nèi)部電極污染等特點(diǎn),微波等離子體材料表面處理、金剛石薄膜制備、化學(xué)氣相沉積、刻蝕以及甲烷轉(zhuǎn)化制氫、長(zhǎng)余輝發(fā)光材料、陶瓷燒結(jié)、碳納米管修飾[3]、納米粉體合成、處理水污染等領(lǐng)域有廣泛應(yīng)用

二、任氏巨源微波等離子體化學(xué)氣相沉積爐產(chǎn)品特點(diǎn):

1. 垂直反應(yīng)器的設(shè)計(jì)可使等離子密度高;對(duì)稱的微波發(fā)生裝置,使產(chǎn)生的等離子場(chǎng)環(huán)境更均勻。
2. 微波等離子體氣相沉積的諧振腔內(nèi)沒(méi)有內(nèi)部電極,可以避免電極放電所產(chǎn)生的污染,而且,它的工作氣壓范圍比較寬,所產(chǎn)生等離子體密度高、區(qū)域大,穩(wěn)定度高,且不與真空器壁接觸,從而避免了器壁對(duì)薄膜的污染。


三、任氏巨源微波等離子體化學(xué)氣相沉積爐技術(shù)參數(shù):

型號(hào)/model

WBMW-DLZ3

可加熱材料

非易燃易爆的任何材料

微波頻率

2.45GHZ±50MHz

加熱方式

純微波加熱

射頻功率/KW

3 ?(功率可調(diào))

工作溫度/

1200

長(zhǎng)期工作溫度/

1100

溫度測(cè)試元件

微波場(chǎng)專用傳感器/紅外測(cè)溫可選

控溫精度/

±2(微波場(chǎng)專用傳感器)

石英管尺寸(外徑/內(nèi)經(jīng)X長(zhǎng)度)/mm

φ102/φ92x1000

真空系統(tǒng)配置(可選)

簡(jiǎn)單機(jī)械泵抽真空和不銹鋼法蘭;

10-1Pa真空機(jī)械泵及真空計(jì);

10-2Pa真空機(jī)械泵、擴(kuò)散泵及真空計(jì);

10-3Pa真空機(jī)械泵、分子泵及真空計(jì);

升溫速率(標(biāo)配)

01000/min可任意設(shè)定,可編程、分段加熱

外型尺寸(長(zhǎng)xx)/mm

1000?750?1830

微波泄漏量/ ?mW/

0.4

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防護(hù) 手套×1、中文說(shuō)明書×1

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