| 任氏巨源微波化學(xué)氣相沉積爐 |
| 聯(lián)系人:董強(qiáng) (先生) | 手機(jī):15230983056 |
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| 郵箱:542701505@qq.com | 地址:河北省唐山市路北區(qū)韓城西部經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)任氏集團(tuán) |
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一、任氏巨源微波化學(xué)氣相沉積爐特點(diǎn): 1. 高溫微波化學(xué)氣相沉積爐,采用純微波加熱、~傳統(tǒng)電加熱或混合加熱方式,可加熱包括金屬在內(nèi)的非易燃易爆材料, 2. 升溫速率快,智能控溫,可分段設(shè)置,控溫穩(wěn)定度好,熱慣性小。同時(shí)加熱多個(gè)溫區(qū),且加熱區(qū)長(zhǎng)度可調(diào)。 3. 可通各種氣氛,抽真空有機(jī)械泵、擴(kuò)散泵和分子泵,可達(dá)10-3Pa真空狀態(tài)。 4、爐體采用不銹鋼密封法蘭(鉸鏈結(jié)構(gòu)),耐高溫、耐腐蝕; 5、保護(hù)管采用耐高溫合金管 ,氣管采用卡套或VCR接口,安裝方便; 6、爐體配有自動(dòng)冷卻風(fēng)扇,降低溫度; 7、真空系統(tǒng):機(jī)械泵 擴(kuò)散泵和分子泵,真空密度計(jì) 8、可通過(guò)電腦全程監(jiān)控和調(diào)試;
二、任氏巨源微波化學(xué)氣相沉積爐產(chǎn)品參數(shù):
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