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真空熱處理工藝目前來(lái)說(shuō)主要指的是真空技術(shù)與熱處理技術(shù)相結(jié)合的新型熱處理技術(shù)，其中，真空熱處理所處的真空環(huán)境指的是低于一個(gè)大氣壓的氣氛環(huán)境，包括低真空、中等真空、高真空和超高真空等，所以，真空熱處理實(shí)際也屬于氣氛控制熱處理中的一種。

真空熱處理是指熱處理工藝的全部和部分在真空狀態(tài)下進(jìn)行的，真空熱處理可以實(shí)現(xiàn)幾乎所有的常規(guī)熱處理所能涉及的熱處理工藝，但熱處理質(zhì)量可以說(shuō)是得到了大大提高。

與常規(guī)熱處理相比，真空熱處理加工技術(shù)可同時(shí)實(shí)現(xiàn)無(wú)氧化、無(wú)脫碳、無(wú)滲碳，可去掉工件表面的磷屑，并有脫脂除氣等作用，從而達(dá)到表面光亮凈化的效果。

在應(yīng)用方面真空熱處理也是非常廣泛的。

首先，在加工行業(yè)，一些零件經(jīng)真空熱處理后，畸變小，質(zhì)量高，且工藝本身操作靈活，無(wú)公害。因此真空熱處理不僅是某些特殊合金熱處理的必要手段，而且在一般工程用鋼的熱處理中也獲得應(yīng)用，特別是工具、模具和精密耦件等，經(jīng)真空熱處理后使用壽命較一般熱處理有較大的提高。例如某些模具經(jīng)真空熱處理后，其壽命比原來(lái)鹽浴處理的高40～400%，而有許多工具的壽命可提高3～4倍左右。此外，真空加熱爐可在較高溫度下工作，且工件可以保持潔凈的表面，因而能加速化學(xué)熱處理的吸附和反應(yīng)過(guò)程。因此，某些化學(xué)熱處理，如滲碳、滲氮、滲鉻、滲硼，以及多元共滲都能得到更快、更好的效果。

其次，國(guó)內(nèi)研究工作者在真空碳、氮共滲技術(shù)方面也取得了較大的發(fā)展。采用真空碳、氮共滲技術(shù)不僅極大地?cái)U(kuò)大了能夠被處理的材料范圍，同時(shí)還能有效減少材料變形，這使得產(chǎn)品質(zhì)量和性能得到了較大的提高。目前市面上已經(jīng)有了各個(gè)類型的具備真空碳、氮共滲功能的熱處理設(shè)備，并且已經(jīng)在零件的熱處理領(lǐng)域取得了不錯(cuò)的應(yīng)用成效。

第三，在民用市場(chǎng)領(lǐng)域，針對(duì)該技術(shù)的研究和應(yīng)用推動(dòng)了我國(guó)金剛石制造技術(shù)的進(jìn)步。該技術(shù)在軟磁合金和電工純鐵的熱處理方面發(fā)揮了重要作用，通過(guò)采用此項(xiàng)技術(shù)使得產(chǎn)品磁性能得到了明顯提高，而產(chǎn)品矯頑力卻得到了顯著降低。
 
除以上介紹到的技術(shù)外，將電磁技術(shù)與真空熱處理技術(shù)相結(jié)合而誕生的真空磁場(chǎng)熱處理技術(shù)也是該領(lǐng)域發(fā)展的一個(gè)重要分支，通過(guò)應(yīng)用這項(xiàng)技術(shù)，既能夠提高結(jié)構(gòu)材料的力學(xué)性能，同時(shí)也對(duì)提高磁性材料的電磁性能具有重大效果。

  總而言之，我國(guó)在真空熱處理技術(shù)方面經(jīng)歷了從引進(jìn)到消化、吸收的各個(gè)發(fā)展階段，并且在近年來(lái)已經(jīng)邁入了自主研發(fā)的階段。近年來(lái)，我國(guó)真空熱處理技術(shù)發(fā)展迅速，工藝水平不斷成熟，各種自產(chǎn)設(shè)備在性能和質(zhì)量上取得了巨大的突破，已經(jīng)完全可以滿足相關(guān)領(lǐng)域的應(yīng)用需求。