| 立式PECVD設(shè)備 |
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價(jià)格： 元(人民幣) | 產(chǎn)地：本地 |
| 最少起訂量：1臺 | 發(fā)貨地：本地至全國 | |
| 上架時(shí)間：2020-03-24 13:16:31 | 瀏覽量：122 | |
鄭州諾泰科技有限公司
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| 經(jīng)營模式：生產(chǎn)加工 | 公司類型：私營有限責(zé)任公司 | |
| 所屬行業(yè)：熱處理設(shè)備 | 主要客戶： | |
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產(chǎn)品概述：
立式PECVD設(shè)備 ，在基片上沉積出所期望的薄膜，此立式PECVD設(shè)備由真空立式管式爐、射頻電源、供氣系統(tǒng)、石英真空室、真空測量系統(tǒng)組成。 PECVD系統(tǒng)配置： 1.1200度開啟式滑動單溫區(qū)真空管式爐 2.等離子射頻電源 3.多路質(zhì)量流量控制系統(tǒng) 4.真空系統(tǒng) 產(chǎn)品特性： 此立式PECVD設(shè)備溫度范圍寬；濺射區(qū)域長；整管可調(diào)；精致小巧，性價(jià)比高，可實(shí)現(xiàn)快速升降溫，是實(shí)驗(yàn)室生長薄膜石墨烯，金屬薄膜，陶瓷薄膜，復(fù)合薄膜等的理想選擇。立式PECVD系統(tǒng)以含鉬電阻絲為加熱元件，采用雙層殼體結(jié)構(gòu)和30段程序控溫儀表，移相觸發(fā)、可控硅控制，爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料，具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節(jié)能等優(yōu)點(diǎn)。 詳細(xì)文章：http://www.china-protech.com/a/huaxueqixiangchenjixitong/20200324/524.html |
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