電動(dòng)真空導(dǎo)入器產(chǎn)品采用高品質(zhì)的焊接波紋管，保證十萬次以上的循環(huán)使用，軸向驅(qū)動(dòng)力可達(dá)到150N，在保證超高真空密封的同時(shí)，通過電機(jī)驅(qū)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)高精度的直線驅(qū)動(dòng)，精確位置控制，安裝角度自由；根據(jù)客戶要求，可以制作各種驅(qū)動(dòng)長(zhǎng)度。有波紋管內(nèi)置型、波紋管外置型和中空型三種結(jié)構(gòu)，客戶根據(jù)使用要求選用。
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主要參數(shù) |
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適用范圍： |
105～5x10-7Pa |
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真空漏率： |
≤1x10-10Pa.m3/s |
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適用溫度： |
-30～300℃ |
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驅(qū)動(dòng)方式： |
電動(dòng) |
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驅(qū)動(dòng)方向： |
直線 |
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安裝狀態(tài)： |
任意方向 |
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連接方式： |
CF法蘭或客戶指定 |
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主要零件材料 |
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焊接波紋管 |
316L |
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刻度圓柱 |
304 |
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進(jìn)給刻度盤 |
LV12陽(yáng)極化 |
