標(biāo)準(zhǔn)型真空直線導(dǎo)入器是超高真空環(huán)境下直線傳輸樣品的重要裝置；該真空直線導(dǎo)入器的真空密封采用高品質(zhì)的焊接波紋管進(jìn)行軸向密封，保證十萬(wàn)次以上的循環(huán)使用，軸向驅(qū)動(dòng)力可達(dá)到150N，在保證超高真空密封的同時(shí)，通過(guò)手動(dòng)調(diào)節(jié)手輪，實(shí)現(xiàn)高精度的直線驅(qū)動(dòng)，精確位置控制，也可和步進(jìn)電機(jī)（本產(chǎn)品采用閉環(huán)伺服步進(jìn)電機(jī)）組合，實(shí)現(xiàn)電控操作性能，具有控制精度高、傳動(dòng)平穩(wěn)、恒力矩等特點(diǎn)；本產(chǎn)品采用精密絲桿實(shí)現(xiàn)無(wú)間隙傳動(dòng)，重復(fù)定位精度高，傳動(dòng)精度可達(dá)到0.01mm（默認(rèn)精度為0.02mm）；可根據(jù)客戶的具體規(guī)格和應(yīng)用來(lái)定制不同驅(qū)動(dòng)長(zhǎng)度、不同連接方式和驅(qū)動(dòng)精度。
|
主要參數(shù) |
|
|
適用范圍： |
105～5x10-7Pa |
|
真空漏率： |
≤1x10-9Pa.m3/s |
|
適用溫度： |
-30～200℃ |
|
驅(qū)動(dòng)方式： |
手動(dòng)或電機(jī)驅(qū)動(dòng) |
|
驅(qū)動(dòng)方向： |
直線 |
|
安裝狀態(tài)： |
任意方向 |
|
連接方式： |
CF法蘭或客戶指定 |
|
主要材料 |
不銹鋼304 |
