| 優(yōu)質(zhì)半導(dǎo)體設(shè)備 YBD擴(kuò)散爐 |
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產(chǎn)品簡(jiǎn)介 設(shè)備用途:半導(dǎo)體器件、太陽(yáng)能電池片、電力半導(dǎo)體。 設(shè)備特點(diǎn):采用積木式組合、控溫器、推拉舟、流量計(jì)、閥門(mén)有多種不同配置供用戶(hù)選擇。 鎵擴(kuò)擴(kuò)散爐 主要技術(shù)指標(biāo) 擴(kuò)散爐組機(jī)、推拉舟及層流凈化臺(tái) 源柜、排毒柜、微機(jī)控制柜 擴(kuò)散爐管數(shù):1~3管/臺(tái) 爐管內(nèi)徑:90~240mm(2寸-6寸) 恒溫區(qū)長(zhǎng)度:600~1000mm±1℃(300~800℃) 600~1000m±0.5℃(800~1250℃) 單點(diǎn)穩(wěn)定性:±1℃/24H(300~800℃) ±0.5℃/24H(800~12500℃) 氣源路數(shù):5路 氣源控制:MFC或浮子流量計(jì) 推拉舟速度范圍及精度:(1~1000)±3mm/min 控制器采用歐姆龍觸摸屏和PLC控制 |
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