| 光學(xué)光刻平臺配套 |
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價(jià)格： 元(人民幣) | 產(chǎn)地：本地 |
| 最少起訂量：1臺 | 發(fā)貨地：本地至全國 | |
| 上架時(shí)間：2018-09-18 14:03:01 | 瀏覽量：180 | |
天津中精微儀器設(shè)備有限公司
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| 經(jīng)營模式：生產(chǎn)加工 | 公司類型：私營有限責(zé)任公司 | |
| 所屬行業(yè)：電子測量儀器 | 主要客戶：國內(nèi) | |
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| 聯(lián)系人:張 (先生) | 手機(jī):18931028498 |
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| 郵箱:818@abtech-space.com | 地址:天津?qū)氎鎱^(qū)天寶工業(yè)園寶康道7號 |
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提供高精度光學(xué)光刻旋轉(zhuǎn)平臺：即氣浮轉(zhuǎn)臺，一般采用公司標(biāo)準(zhǔn)系列氣浮轉(zhuǎn)臺，詳見本網(wǎng)站氣浮轉(zhuǎn)臺頁面，或以此為基礎(chǔ)改制。光學(xué)行業(yè)已經(jīng)應(yīng)用的場合有：偏測儀、定心車、大鏡面研拋加工（機(jī)器人配合）、大鏡面掃描測量；芯片半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用有：芯片測量、硅片拋光、硅片減薄、光刻、LDI光刻、手機(jī)生產(chǎn)鏈檢測。 提供高精度光學(xué)光刻氣浮位移平臺：一般采用定制形式，光學(xué)行業(yè)已經(jīng)應(yīng)用的場合有：偏測儀Z軸臺、定心車、CCD拼接儀、大鏡面研拋加工、大鏡面測量；芯片半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用有：芯片制程中的測量和檢測、LED制程中的檢測、光刻、LDI光刻、手機(jī)生產(chǎn)鏈檢測。 氣浮位移平臺產(chǎn)品現(xiàn)狀：目前有幾種基本形式。一種是采用氣足組合的，類似三坐標(biāo)測量機(jī)位移平臺結(jié)構(gòu)。優(yōu)點(diǎn)是成本低、搭建相對容易；缺點(diǎn)是剛度低只適合低速低頻、結(jié)構(gòu)復(fù)雜零件多、調(diào)整部件太多不穩(wěn)定、精度相對較低。另一種是以美國areotech為代表的半導(dǎo)體行業(yè)專用氣浮位移平臺，優(yōu)點(diǎn)是采用一體化的設(shè)計(jì)，精度高、可高速高頻；缺點(diǎn)是對環(huán)境要求太高，尤其是對溫度環(huán)境要求太高；其實(shí)對環(huán)境的過分要求，也會影響實(shí)際可以達(dá)到的精度，這類平臺的精度指標(biāo)都指的是在幾乎理想環(huán)境下的指標(biāo)。 |
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