| BETHEL熱分析儀器熱物性顯微鏡TM3B |
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價格： 元(人民幣) | 產(chǎn)地：日本 |
| 最少起訂量：1臺 | 發(fā)貨地：深圳 | |
| 上架時間：2018-11-05 14:47:38 | 瀏覽量：538 | |
深圳市阿萊思斯科技有限公司
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| 經(jīng)營模式：經(jīng)銷商 | 公司類型：私營有限責(zé)任公司 | |
| 所屬行業(yè)：打膠/點膠/灌膠設(shè)備 | 主要客戶：全國 | |
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產(chǎn)品應(yīng)用微小領(lǐng)域（微米等級）、納米薄膜、Sic（單晶體、多晶體）、AIN等的測量。
熱物性顯微鏡TM3B的優(yōu)勢： ? 熱物性顯微鏡是測量熱物性值中熱滲透率的一種設(shè)備； ? 可以通過點、線、面測量樣品的熱物性； ? 可測量微米等級的熱物性值的分布； ? 全球首個非接觸方式且高分辨率的熱物性測量設(shè)備； ? 檢測光點徑3μm、高分辨率來測量微小領(lǐng)域的熱物性（點、線、面 測量）； ? 可改變深度范圍進(jìn)行測量，從薄膜、多層膜到散裝材料都可測量； ? 基板上的樣品也可測量； ? 激光非接觸式測量； ? 可檢測薄膜下的裂紋、孔隙、脫落等問題。
主要規(guī)格
名稱／商品名
熱物性顯微鏡／Thermal Microscope
測量模式
熱物理性分布測量 （1次元?2次元?1點）
測量項目
熱滲透率、（熱擴散率）、（熱傳導(dǎo)率）
檢測光點徑
約3μm
1點測量標(biāo)準(zhǔn)時間
10秒
測量對象薄膜
厚度 數(shù)百nm～數(shù)十μm
重復(fù)精度
耐熱玻璃、硅的熱滲透率±10%以內(nèi)
樣品
?樣品支架 30mm×30mm，厚度5mm，樣品表面的鏡面需要研磨
?板狀樣品30mm×30mm以內(nèi)，厚度3mm以內(nèi)，樣品表面需Ｍｏ濺鍍
使用溫度范圍
24℃±1℃（根據(jù)設(shè)備內(nèi)部溫度感應(yīng)器）
平臺移動距離
?Ｘ軸方向20mm ?Ｙ軸方向20mm ?Ｚ軸方向10mm
加熱用激光
半導(dǎo)體激光波長：808nm
檢測用激光
半導(dǎo)體激光波長：658nm
電源
AC 100V~1.5kVA
標(biāo)準(zhǔn)配件
樣品支架、基準(zhǔn)樣品
*選項
光學(xué)平臺、空調(diào)機、空調(diào)用booth、spatter裝置
本體
外形尺寸：730(W) x 620(D) x 560(H)mm 重量：80.0Kg
電源箱
外形尺寸：620(W) x 480(D) x 310(H)mm 重量：26.4Kg
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