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全部

C30氣體質(zhì)量流量控制器廠家3年質(zhì)保

C30型氣體質(zhì)量流量控制器和C30M型氣體質(zhì)量流量計采用毛細鋼管傳熱和溫差量熱原理測量氣體的質(zhì)量流量，其中質(zhì)量流量控制器可以對氣體的質(zhì)量流量進行精確的控制。由于溫差量熱只和氣體的質(zhì)量流量相關，所以氣體的溫度和壓力變化不會影響到測量值。

本型號產(chǎn)品的滿量程可以在 5SCCM到 10SLM的范圍內(nèi)任意定制，性價比高，是同類產(chǎn)品中價格最低的一款。

特點

國內(nèi)同類產(chǎn)品價格最低

穩(wěn)定性和可靠性高

±0.2％F.S.的高重復精度

滿量程可以在 5SCCM到 10SLM的范圍內(nèi)任意定制

可應用于大多數(shù)腐蝕性氣體

同類產(chǎn)品尺寸最小

安裝尺寸國際兼容

應用

真空鍍膜設備

微反應裝置

晶體制備設備

混氣配氣設備

燃燒測試設備

氣相色譜儀及其它分析儀器

標定氣體：氮氣(N2)

標定溫度和壓力：溫度—273.15 K（0℃）

氣壓—101325 Pa（760mm Hg）

基本型號	C30	C30M
流量規(guī)格 eq \o\ac(○,1)1(N2標定)	0～5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM
	0～1,2,3,5,10 SLM
調(diào)節(jié)閥類型	常閉式	無
量程比	(5～100)％F.S. 或20:1
流量分辨率	0.1％F.S.
準確度	±1.5％F.S.
線性	±1.5％F.S.
重復精度	±0.2％F.S.
響應時間	≤6sec	≤2sec
工作壓差范圍	0.1～0.5MPa (≤10SLM)	0.02MPa～3MPa
最大耐壓	3MPa
工作環(huán)境溫度	5～45℃
電纜接頭	DB15pin(針形)
輸入輸出信號	0～+5.00V (輸入阻抗大于100kΩ，輸出電流不大于3mA)	0～+5.00V (無輸入信號，輸出電流不大于3mA)
供電電源要求	+15VDC(50mA),-15VDC(200mA)	+15VDC(50mA),-15VDC(50mA)
對外單點泄漏率	≤1×10^-8Pa·m³/S(He)
介質(zhì)接觸材質(zhì)	316，316L，密封填料
密封材料	丁腈橡膠NBR，三元乙丙橡膠EPDM，氯丁橡膠CR，硅橡膠VMQ, 氟橡膠FKM，全氟橡膠FFKM，聚四氟乙烯PTFE
管道接頭尺寸	VCR型接頭：1/4”
	雙卡套型接頭：1/8”、1/4”、3/8”或φ3、φ6、φ8、φ10 mm
外形尺寸	長×寬×高：127×30×100 mm
凈重量	0.88kg	0.72kg

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