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<秒1響應(yīng)時(shí)間>讀數(shù)精度的1%壓電控制閥.金屬密封結(jié)構(gòu)

?緊湊型尺寸1/8“面密封或壓縮配件波特D2000i系列液體質(zhì)量流量控制器的地址

半導(dǎo)體制造中液體前體的快速精確控制的必要性過程，以及生物技術(shù)、制藥中的各種應(yīng)用，

化工、石化和表面處理工業(yè)。閉環(huán)數(shù)字控制電路與積分比例壓電驅(qū)動(dòng)相結(jié)合

控制閥，提供不到1秒的響應(yīng)時(shí)間和穩(wěn)定的控制在低。潔凈室總成和所有金屬密封結(jié)構(gòu)確保高純度和泄漏完整性。一個(gè)獨(dú)特的層流旁路和傳感器組件提供準(zhǔn)確的

流體溫度僅上升5°c的測量。緊湊的封裝尺寸該D2000i系列簡化系統(tǒng)集成。一個(gè)D2000i系列液體質(zhì)量流量計(jì)只適用于需要流量監(jiān)控的應(yīng)用程序。

規(guī)格

響應(yīng)時(shí)間：＜1秒至5%以內(nèi)

速率（最多6個(gè)儲(chǔ)存閥跳變電壓）

準(zhǔn)確度和線性度：讀數(shù)的1%

重復(fù)性：在任何情況下，速率為0.2%。

在恒定的溫度

操作溫度范圍

可調(diào)范圍（控制范圍）：20:1

（5% - 100%滿刻度）（精度和控制）環(huán)境溫度和工作溫度

范圍：- 10至40°C（+ 14至104°F）

最大允許工作壓力：125 psig

溫度系數(shù)：＜0.1%°C

設(shè)定輸入流量信號(hào)輸出：0-5 VDC（2K歐姆最低負(fù)載電阻）

流量輸出信號(hào)）

電源要求：（電流消耗小于200 MADC）：+ 15（10%）VDC

泄漏完整性：1×10- 9ATM。CC / sec.he

熱身時(shí)間：20分鐘

建筑材料—

（濕表面）：車身- 316L不銹鋼

傳感器總成- 316L不銹鋼

閥門組件- 316L不銹鋼

O型環(huán)- 316L不銹鋼