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晶圓研磨機(jī)-高精度減薄工藝研磨拋光設(shè)備半導(dǎo)體工藝設(shè)備

	價格：9999.00 元(人民幣)	產(chǎn)地：北京北京
	最少起訂量：1	發(fā)貨地：北京北京
	上架時間：2025-11-12 22:10:09	瀏覽量：8
	北京歐科天遠(yuǎn)科技有限公司
	經(jīng)營模式：代理商	公司類型：私營獨資企業(yè)
	所屬行業(yè)：檢測儀器	主要客戶：高校，研究所，航空，航天，汽車行業(yè)等
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聯(lián)系人:趙青 (小姐)	手機(jī):15911159017
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詳細(xì)介紹

產(chǎn)品參數(shù)

品牌	艾姆希
是否支持加工定制	是
系列	GNAD 400
電源	220-240v 10A 110v 10A 50-60HZ
環(huán)境溫度	20°C -35°C
環(huán)境濕度	< 80
晶圓尺寸	6 inch及以下
工作盤直徑	300mm \/ 420mm
擺臂驅(qū)動轉(zhuǎn)速	0-100rpm \/ 0-120rpm
盤轉(zhuǎn)速	0-100rpm \/ 0-120rpm
定時時間	0-10小時
進(jìn)料通道	≤ 3
去除厚度	納米級別
工位	≤4
可售賣地	全國
型號	GNAD E

GNAD系列半導(dǎo)體材料精密研磨拋光機(jī)
? 整機(jī)防腐，獨立可移動式觸摸操控系統(tǒng)；
? 多通道進(jìn)料系統(tǒng)；
? 夾具可在線監(jiān)測樣品的去除量，精度可實現(xiàn) 0.1um。壓力的范圍可實現(xiàn) 0-3.5 公斤。并可根據(jù)用戶工藝要求定制各種角度附件等非標(biāo)夾具附件，實現(xiàn)對非標(biāo)形狀樣品的拋光及角度拋光。
? 工藝參數(shù)存儲以及定時功能；
? 真空系統(tǒng)通過抽真空的方式將樣品直接吸附在樣品固定裝置底面。根據(jù)不同工藝要求，真空系統(tǒng)可以直接吸附樣品或者直接吸附貼有樣品的石英襯底片。
? 設(shè)備具有設(shè)備定時功能，可連續(xù)工作運行時間 10小時。同時，設(shè)備具有預(yù)設(shè)工作時間功能，預(yù)設(shè)時間達(dá)到，設(shè)備自動停機(jī)。

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