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科研小型離子濺射儀膜厚控制磁控濺射儀自循環(huán)水冷可長時間鍍膜
科研小型離子濺射儀膜厚控制磁控濺射儀自循環(huán)水冷可長時間鍍膜 價格:3800.00  元(人民幣) 產(chǎn)地:河南鄭州
最少起訂量:1 發(fā)貨地:河南鄭州
上架時間:2025-11-07 00:50:59 瀏覽量:3
鄭州科探儀器設(shè)備有限公司  
經(jīng)營模式:生產(chǎn)加工 公司類型:私營有限責任公司
所屬行業(yè):專用儀器 主要客戶:高校研究所
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聯(lián)系方式

聯(lián)系人:宋工 () 手機:15286826848
電話: 傳真:
郵箱: 地址:高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)西三環(huán)路289號6幢11單元3層73號

詳細介紹

產(chǎn)品參數(shù)
設(shè)備名稱小型濺射儀
工作電源直流濺射電源
功率≤1000W
輸出電流電流≤500mA
真空度(機械泵)≤5Pa(5分鐘)
分子泵真空度≤5*10^-3Pa
擋板類型電控
真空腔室石英腔體φ160mm x 160mm
樣品臺可旋轉(zhuǎn)φ62
樣品臺轉(zhuǎn)速8轉(zhuǎn)\/分鐘
樣品濺射源調(diào)節(jié)距離40-140mm
真空測量皮拉尼真空計(已安裝 測量范圍10E5Pa 1E-1Pa)
膜厚儀厚度范圍 0-9999A
厚度顯示分辨率1A
速率范圍0-999.9A
晶振頻率5-6MHz
速率顯示分辨率0.1A
品牌鄭科探
濺射真空≤5Pa

















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