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Gatan SmartEMIC 電子束感應(yīng)電流測(cè)量系統(tǒng)簡(jiǎn)介

產(chǎn)品功能介紹

? ? ? ??EBIC分析系統(tǒng)，可以實(shí)時(shí)軟件控制全自動(dòng)采集電子束感生電流（EBIC）信號(hào)，獲得EBIC圖像信息，還可以獲得IV曲線信息，最終可以測(cè)試PN結(jié)位置，寬度，少子擴(kuò)散長(zhǎng)度，材料或器件的失效點(diǎn)定位，廣泛應(yīng)用于電子半導(dǎo)體領(lǐng)域。

? ? ? ??品牌介紹

? ? ? ??美國(guó)GATAN公司成立于1964年并于70年代末進(jìn)入中國(guó)市場(chǎng)。GATAN公司以其產(chǎn)品的高性能及技術(shù)的性在電鏡界享有極高聲譽(yù)。

? ? ? ??作的設(shè)計(jì)和制造用于增強(qiáng)和拓展電子顯微鏡功能的附件廠商，其產(chǎn)品涵蓋了從樣品制備到成像、分析等所有步驟的需求。產(chǎn)品應(yīng)用范圍包括材料科學(xué)、生命科學(xué)、地球物理學(xué)、電子學(xué)，能源科學(xué)等領(lǐng)域，?客戶范圍涵蓋的科研院所，高校，各類檢測(cè)機(jī)構(gòu)及大型工業(yè)企業(yè)實(shí)驗(yàn)室，并且在科學(xué)研究領(lǐng)域得到了廣泛認(rèn)同。

? ? ? ??經(jīng)銷商介紹

? ? ? ??歐波同有限公司的微納米技術(shù)服務(wù)供應(yīng)商，是一家以外資企業(yè)作為投資背景的，總部位于香港，分別在北京、上海、遼寧、山東等地設(shè)有分公司和辦事處。作為蔡司電子顯微鏡、GATAN掃描電子顯微鏡制樣設(shè)備及附屬分析設(shè)備在中國(guó)地區(qū)重要的戰(zhàn)略合作伙伴，公司秉承“打造國(guó)內(nèi)影響力的儀器銷售品牌”的經(jīng)營(yíng)理念，與蔡司，GATAN品牌強(qiáng)強(qiáng)聯(lián)合，正在為數(shù)以萬計(jì)的中國(guó)用戶提供高品質(zhì)的產(chǎn)品與技術(shù)服務(wù)。

? ? ? ??Gatan SmartEMIC 電子束感應(yīng)電流測(cè)量系統(tǒng)特點(diǎn)：

? ? ? ??高性能、地噪聲EBIC系統(tǒng)，進(jìn)行定量EBIC測(cè)量。界面友好的智能分析軟件運(yùn)行于DigitalMicrograph軟件平臺(tái)。

? ? ? ??用于SEM的SmartEBIC?系統(tǒng)包括：

? ? ? ???計(jì)算機(jī)控制的、充電電池供電的EBIC放大器

? ? ? ???高級(jí)EBIC樣品座(ASH)，并配有可調(diào)節(jié)的鎢探針以進(jìn)行臺(tái)式接觸。配以適當(dāng)?shù)腉atan適配器還可以通過空氣鎖來裝載試樣*

? ? ? ????與SEM樣品臺(tái)接口

? ? ? ???鏈接插座及4個(gè)BNC型的電纜鏈接，低噪聲這空饋通，適于EBIC和電子束流的測(cè)量

? ? ? ???具有Fireware技術(shù)的DigiScan?II數(shù)字電子束控制系統(tǒng)。它包括兩個(gè)模擬輸入，可同時(shí)采集攝影質(zhì)量的圖像，并可靈活控制像素強(qiáng)度、每點(diǎn)駐留時(shí)間、掃描旋轉(zhuǎn)等。對(duì)于某些SEM，它還可以通過軟件通訊SEM的操作參數(shù)。

? ? ? ???配有的SmartEBIC應(yīng)用插件的Digital?Micrography軟件，以進(jìn)行定量測(cè)量、線性輪廓的實(shí)時(shí)和后處理分析

? ? ? ??產(chǎn)品主要技術(shù)參數(shù)：

? ? ? ??SmartEBIC可以對(duì)EBIC信號(hào)進(jìn)行自動(dòng)控制采集和定量分析:

? ? ? ??掃描控制系統(tǒng):

??1、1-,?2-?or?4-比特?cái)?shù)據(jù)采集提供了超大的動(dòng)態(tài)范圍

??2、從?16?x?1?至?8000?x?8000?像素掃描分辨率

??3、電子束停留時(shí)間，在0.5毫秒/像素到300毫秒/像素之間可調(diào)

? 4、自動(dòng)調(diào)節(jié)圖像顯示大小，使得EBIC實(shí)驗(yàn)過程變得更方便

*5、配置Digi-Scan控制器，實(shí)時(shí)軟件控制全自動(dòng)采集，可以在EBIC信號(hào)的采集時(shí)就對(duì)信號(hào)進(jìn)行定量分析，無需附加的后處理，

*6、不僅獲得EBIC圖像信息，還可以獲得IV曲線信息。

? ? ? ??噪音控制:

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??1.?特別設(shè)計(jì)的EBIC附屬樣品臺(tái)

??2.?同軸繞線方式

??3.?可重復(fù)使用的鉛酸電池?(15小時(shí)續(xù)航時(shí)間)

??4.?可以改變放大器的增益，從而化數(shù)據(jù)采集的信噪比和帶寬

??5.?兩種可選的一階RC濾波器?，低通或高通濾波

??6.?低漂移放大模式

??7.?在與PC通訊的時(shí)間以外，系統(tǒng)的微處理器會(huì)自動(dòng)切換到睡眠狀態(tài)

??8.?豐富的圖像處理工具。包含銳化工具、平滑工具和傅立葉變換工具等。??

??9.?可以適配與Lock-in技術(shù)（本系統(tǒng)并不提供，這樣的配置系統(tǒng)將不會(huì)對(duì)EBIC信號(hào)定量分析）

? ? ? ??追蹤:

? ? ? ??通過軟件實(shí)現(xiàn)。在12bit（1.22mV）采集分辨率模時(shí)為 /-5V。

? ? ? ??自動(dòng)化:

? ? ? ??即使在放大器參數(shù)設(shè)定欠佳的條件下，系統(tǒng)也能自動(dòng)優(yōu)化圖像的顯示大小，從而提供更方便的圖像瀏覽

? ? ? ??可以對(duì)放大器的偏移/增益進(jìn)行自動(dòng)設(shè)置

? ? ? ??軟件:

? ? ? ??流程式一維擴(kuò)散長(zhǎng)度測(cè)量

? ? ? ??廣泛的面掃/線掃描分析工具，包括數(shù)學(xué)分析工具，濾波應(yīng)用等

? ? ? ??廣泛的圖像顯示方案選項(xiàng)，包括二次電子圖像與EBIC圖像的疊加

? ? ? ??編程語言可助您為自己的實(shí)驗(yàn)編寫定制化軟件

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? ? ? ??產(chǎn)品主要應(yīng)用領(lǐng)域：

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? ? ? ??測(cè)試PN結(jié)位置，寬度，少子擴(kuò)散長(zhǎng)度金屬材料

? ? ? ??材料或器件的失效點(diǎn)定位

? ? ? ??測(cè)試半導(dǎo)體材料的位錯(cuò)密度

? ? ? ??IV特性測(cè)試

? ? ? ??應(yīng)用實(shí)例：

? ? ? ??應(yīng)用一：測(cè)試PN結(jié)位置，寬度，少子擴(kuò)散長(zhǎng)度

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? ? ? ??應(yīng)用二：材料或器件的失效點(diǎn)定位

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