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（銷售技術(shù)楊經(jīng)理18103045976）

掩模版（Photomask）又稱光罩、光掩模、光刻掩模版、掩膜版、掩膜板等，是光刻工藝中關(guān)鍵部件之一，是下游行業(yè)產(chǎn)品制造過程中的圖形“底片”轉(zhuǎn)移用的高精密工具，是承載圖形設(shè)計和工藝技術(shù)等知識產(chǎn)權(quán)信息的載體。掩模版用于下游電子元器件制造業(yè)批量生產(chǎn)，是下游行業(yè)生產(chǎn)流程銜接的關(guān)鍵部分，是下游產(chǎn)品精度和質(zhì)量的決定因素之一。

掩模版（石英）的制造過程掩模版的工作原理

作為光刻復(fù)制圖形的基準(zhǔn)和藍(lán)本，掩模版是連接工業(yè)設(shè)計和工藝制造的關(guān)鍵，掩模版的精度和質(zhì)量水平會直接影響最終下游制品的優(yōu)品率。

掩模版的分類

按光掩模版基板材料可分為透明樹脂基板和透明玻璃基板。透明樹脂基板易于大型化，但是易變形，相較而言玻璃基板更為常用，按照玻璃材質(zhì)又可細(xì)分為合成石英光掩模版、硼硅玻璃光掩模版和蘇打（鈉鈣玻璃）光掩模版三類。

按光掩模版遮光膜材料可分為乳膠遮光膜與硬質(zhì)遮光膜兩大類。硬質(zhì)遮光膜又可細(xì)分為鉻、硅、硅化鉬、氧化鐵四類，其中鉻質(zhì)材料具有涂覆均一性好、刻蝕精度高、且無毒無污染的優(yōu)點，應(yīng)用最為廣泛。

按光掩模版的用途可分為鉻版、凸版、干版和液體凸版四類。其中，鉻版主要由鉻質(zhì)遮光膜與石英基板組成，由于其精度高、耐用性好，廣泛應(yīng)用于微電子制造領(lǐng)域。

石英掩模版使用石英玻璃作為基板材料，透光率高，熱膨脹系數(shù)低，比蘇打玻璃更平整耐磨，使用壽命更長，主要用于高精度掩模版；蘇打掩模版用蘇打玻璃作為基板材料，由于材料的原因，各方面性能都劣于石英掩模版，主要用于中低精度掩模版；樹脂基板由于透光率一般，不耐用，精度低，主要用于PCB掩膜。

掩模版是集成電路制造過程中的圖形轉(zhuǎn)移工具或者母板，也就是半導(dǎo)體芯片的母板，承載著圖形信息和工藝技術(shù)信息。掩模版的作用是將承載的電路圖形通過曝光的方式轉(zhuǎn)移到硅晶圓等基體材料上，從而實現(xiàn)集成電路的批量化生產(chǎn)。掩模版廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、平板顯示、電路板、觸控屏等領(lǐng)域。

石英材料和蘇打材料對比：

石英玻璃材料：以高純石英玻璃為基材，具有高透過率、高平坦度、低膨脹系數(shù)等優(yōu)點，成本較高，通常應(yīng)用于高精度掩模版產(chǎn)品。主要用于對精度要求較高的功率半導(dǎo)體、MEMS傳感器、先進(jìn)IC封裝等領(lǐng)域。

蘇打玻璃材料：使用蘇打玻璃作為基板材料，熱膨脹率相對高于石英玻璃，平整度和耐磨性相對弱于石英玻璃，成本相對較低，主要用于中低精度掩模版。主要用于對精度要求較低的中低端半導(dǎo)體制造、半導(dǎo)體封裝、光學(xué)器件、觸控屏和電路板制造等領(lǐng)域.

機(jī)器視覺標(biāo)定

型號：HCM02-20*20

尺寸(mm)：20*20mm

厚度：1mm

精度：2μm

材料：陶瓷

標(biāo)定板是一種帶有固定間距圖案陣列的幾何模型，通過標(biāo)定算法計算，可以得到的測量和重建結(jié)果，有效校正了鏡頭畸變，大大提高了機(jī)器視覺應(yīng)用中圖像測量、攝影測量的精度。主要功能為校正鏡頭畸變、確定物理尺寸和像素的換算關(guān)系、確定空間物體表面某點的三維幾何位置與圖像中對應(yīng)點的關(guān)系，建立相機(jī)成像的幾何模型。

光學(xué)標(biāo)定板

應(yīng)用領(lǐng)域

宏誠光學(xué)玻璃系列標(biāo)定板和陶瓷系列標(biāo)定板是專為高校實驗、研究單位項目研發(fā)和機(jī)器視覺集成商產(chǎn)品標(biāo)定等等客戶群體使用的常用標(biāo)定工具，能夠方便獲得相機(jī)的標(biāo)定數(shù)據(jù)。

標(biāo)定板作用：

為校正鏡頭畸變、確定物理尺寸和像素間的換算關(guān)系，以及確定空間物體表面某點的三維幾何位置與其在圖像中對應(yīng)點之間的相互關(guān)系，需要建立相機(jī)成像的幾何模型。是研究單位以及視覺領(lǐng)域標(biāo)定工具，三維影像測量、三維逆向工程、立體匹配、三維重建等，主要通過標(biāo)定軟件獲取相機(jī)標(biāo)定結(jié)果的數(shù)據(jù)。

宏誠光學(xué)可定制各種標(biāo)定板，校正片。

標(biāo)定板材質(zhì)：

材料一：蘇打玻璃：俄羅斯使用標(biāo)定板顏色為銀色，德國，奧地利周邊國家標(biāo)定板顏色為藍(lán)色；美國，日本標(biāo)定板顏色均為黃色。這個顏色是鍍膜工藝決定，不能單憑顏色就判斷標(biāo)定板的優(yōu)劣。國產(chǎn)標(biāo)定板顏色為黃色， 其他顏色成本相對比較低。標(biāo)準(zhǔn)的制作工藝： 玻璃基底要經(jīng)過拋光，清洗后，鍍膜等。膜層牢固，后期制作過程中瑕疵點效少。如果把其中某一道工藝減少或用的機(jī)器不是很好，做出來的產(chǎn)品，成本會便宜很多，同時質(zhì)量一定不是很好。例子：如果按照正常工序制作，尺寸為63mm*63mm，大量制作的價格也至少在百元以上。

材料二： 陶瓷基底的標(biāo)準(zhǔn)板具有熱膨脹系數(shù)小、強度高、硬度高、耐磨性好、熱傳導(dǎo)率低、防酸堿性好等特點，且其良好的表面漫反射處理，解決了在應(yīng)用過程中，前置光源情況下玻璃材質(zhì)標(biāo)定板反光的難題，可更好地識別標(biāo)定板圖案細(xì)節(jié)信息從而達(dá)到更高的標(biāo)定精度和測量精度。

材料三：石英材料，材料透光性好，大 優(yōu)勢：膨脹系數(shù)較小。在標(biāo)定儀器過程中，受 環(huán)境溫度影響小。相應(yīng)成本也很高。石英材料 分JGS1和JGS2。JGS1價格