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光刻技術(shù)設(shè)備光刻曝光光刻機(jī)紫外光刻

	價(jià)格：20.00 元(人民幣)	產(chǎn)地：上海上海
	最少起訂量：1	發(fā)貨地：上海上海
	上架時(shí)間：2025-05-13 03:58:31	瀏覽量：16
	米歇爾集團(tuán)上海工程技術(shù)有限公司
	經(jīng)營(yíng)模式：生產(chǎn)加工	公司類型：股份合作企業(yè)
	所屬行業(yè)：變送器	主要客戶：石油化工行業(yè)
	在線咨詢

聯(lián)系方式

聯(lián)系人:陳先生 (先生)	手機(jī):15102116866
電話:	傳真:
郵箱:michell@email.cn	地址:上海市博園路1333號(hào)北虹橋大廈8509室

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品參數(shù)
品牌	米歇爾MICHELL
是否支持加工定制	否
規(guī)格	1mm
可售賣地	全國
型號(hào)	URE-2000/25

紫外高精密光刻機(jī)
1、曝光面積：110mm×110mm

2、分辨力：0.8μm（膠厚2mm的正膠）

3、對(duì)準(zhǔn)精度 ±0.5μm

4、掩模樣片整體運(yùn)動(dòng)范圍：X：6mm; Y:6mm

5、掩模尺寸：2.5寸、3寸、4寸、5寸

6、樣片尺寸直徑Ф15mm--Ф100mm (可適應(yīng)非標(biāo)準(zhǔn)片或碎片)

7、厚度0.1mm-6mm (可擴(kuò)展為15mm)

8、照明均勻性：±2.5（Ф100mm范圍）

9、掩模相對(duì)于樣片運(yùn)動(dòng)行程： X:±5mm; Y:±5mm; θ: ±6度

10、汞燈功率：350W（直流）

11、曝光波長(zhǎng)：365nm

12、曝光能量密度：35mW/cm 可以根據(jù)需要增加或減弱調(diào)節(jié)

13、曝光方式：定時(shí)（到計(jì)時(shí)方式0.1s—999s）

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