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申科泰ST-100型晶圓碳化硅外延層厚度紅外傅里葉變換光譜測(cè)厚儀
申科泰ST-100型晶圓碳化硅外延層厚度紅外傅里葉變換光譜測(cè)厚儀 價(jià)格:50.00  元(人民幣) 產(chǎn)地:陜西西安
最少起訂量:1 發(fā)貨地:陜西西安
上架時(shí)間:2025-05-05 13:23:34 瀏覽量:3
西安申科泰儀器設(shè)備有限公司  
經(jīng)營(yíng)模式:經(jīng)銷商 公司類型:私營(yíng)獨(dú)資企業(yè)
所屬行業(yè):檢測(cè)儀器 主要客戶:表面處理
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聯(lián)系方式

聯(lián)系人: (先生) 手機(jī):18092780718
電話: 傳真:
郵箱:wei.gao@thicktest.com 地址:陜西省西安市灃東新城紅光路44號(hào)二樓2108室

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品參數(shù)
品牌申科泰Thicktest
是否支持加工定制
是否進(jìn)口
波長(zhǎng)范圍950-1100nm
操作方式軟件操作
測(cè)定對(duì)象硅晶圓、鈮酸鋰、鉭酸鋰,藍(lán)寶石晶片厚度
測(cè)量精度0.5
測(cè)量量程10μm-1400μm
入射角90°
應(yīng)答時(shí)間2h
質(zhì)保服務(wù)1年
可售賣地北京;天津;河北;山西;內(nèi)蒙古;遼寧;吉林;黑龍江;上海;江蘇;浙江;安徽;福建;江西;山東;河南;湖北;湖南;廣東;廣西;海南;重慶;四川;貴州;云南;西藏;陜西;甘肅;青海;寧夏;新疆

西安申科泰ST-100型紅外厚度測(cè)量?jī)x采用光學(xué)干涉原理、非接觸測(cè)量折射率較大或者厚度較大的樣品,比如硅晶圓、鈮酸鋰、鉭酸鋰等,測(cè)量分辨率達(dá)到納米量級(jí)。該儀器具有測(cè)量迅速、操作簡(jiǎn)單、結(jié)果穩(wěn)定、用戶使用界面易于操作等特點(diǎn),是目前市場(chǎng)上性價(jià)比優(yōu)良的厚度測(cè)量?jī)x之一?捎糜陔x線或在線厚度的實(shí)時(shí)測(cè)量



測(cè)量原理:
照明光源垂直照射到待測(cè)樣品表面,一部分光經(jīng)過樣品上表面反射,返回到分光儀,另一部分透過樣品上表面,經(jīng)過與底層之間的界面反射,返回到分光儀(圖 1)。這兩束光在分光儀的光電轉(zhuǎn)
換器表面重合,形成分光干涉條紋。根據(jù)干涉條紋的周期和薄膜厚度的關(guān)系,利用傅立葉變換方法,解析薄膜的厚度。




應(yīng)用領(lǐng)域:
不同類型的硅晶片、藍(lán)寶石晶片的厚度測(cè)量
二氧化硅、氮化硅、鈮酸鋰、鉭酸鋰等的厚度測(cè)量
減薄機(jī)和研磨機(jī)的過程控制
薄層和厚層檢測(cè)
薄膜厚度控制



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