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德國MicroResist納米壓印膠mr-I7000E、mr-I8000E納米壓印膠
德國MicroResist納米壓印膠mr-I7000E、mr-I8000E納米壓印膠 價格:\u9762\u8bae  元(人民幣) 產(chǎn)地:本地
最少起訂量:1 發(fā)貨地:本地至全國
上架時間:2025-04-28 02:25:12 瀏覽量:17
武漢邁可諾科技有限公司  
經(jīng)營模式:代理商 公司類型:私營有限責(zé)任公司
所屬行業(yè):實(shí)驗(yàn)室設(shè)備/實(shí)驗(yàn)室儀器 主要客戶:高校實(shí)驗(yàn)室科研單位
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聯(lián)系方式

聯(lián)系人:趙經(jīng)理 (先生) 手機(jī):18221354817
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郵箱:tchiu@mycroinc.com 地址:武珞路628號亞洲貿(mào)易廣場

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品參數(shù)
品牌邁可諾
發(fā)貨地武漢
產(chǎn)地德國
起訂量250ml
可售賣地全國
型號mr-I7000E

概括

德國Micro Resist公司創(chuàng)立于1993年.公司生產(chǎn)的高性能各種用于微納制作的光刻膠,除了生產(chǎn)用于i、g和h線的光刻膠以外,還有電子束刻蝕膠和納米壓印膠以及專門用于光學(xué)波導(dǎo)制作的光膠可供選擇。


品牌

產(chǎn)地

型號

特點(diǎn)


Micro Resist

德國

mr-I 7000E系列

Tg = 60℃

優(yōu)異的成膜質(zhì)量

由于高效的流動性和快速壓印從而縮短整個工藝時間

壓印溫度125 - 150℃,壓印壓力20 - 50 bar

Plasma刻蝕阻抗性能優(yōu)于PMMA

可獲得優(yōu)于50 nm的分辨率(取決于模版分辨率)



mr-I 8000E系列

Tg = 115℃

優(yōu)異的成膜質(zhì)量

由于高效的流動性和快速壓印從而縮短整個工藝時間

壓印溫度170 - 190℃,壓印壓力20 - 50 bar

Plasma刻蝕阻抗性能優(yōu)于PMMA

可獲得優(yōu)于50 nm的分辨率(取決于模版分辨率)



mr-I PMMA 35k/75k系列

Tg = 105℃

優(yōu)異的成膜質(zhì)量

低分子量從而實(shí)現(xiàn)高效的流動性

壓印溫度150 - 180℃,壓印壓力50 bar

可獲得優(yōu)于50 nm的分辨率(取決于模版分辨率)



mr-I T85系列

Tg = 85℃

優(yōu)異的成膜質(zhì)量

壓印溫度140 - 170℃,壓印壓力大于5 bar

Plasma刻蝕阻抗性能優(yōu)于傳統(tǒng)的Novolak基光膠

非極化熱塑性、具有優(yōu)異的紫外和光學(xué)透過率,高化學(xué)穩(wěn)定性

可獲得優(yōu)于50 nm的分辨率(取決于模版分辨率)



mr-I 9000E系列

熱固化之前Tg = 35℃

優(yōu)異的成膜質(zhì)量
接近等溫加工處理
n?壓印溫度120℃
n?脫模溫度100℃
壓印時溫度從Tg到Tg,Cured增加并固化
非常低的殘余膠層厚度低至5 nm
Plasma刻蝕阻抗性能優(yōu)于傳統(tǒng)的Novolak基光膠
可獲得優(yōu)于50 nm的分辨率(取決于模版分辨率)



mr-NIL 6000系列

光化學(xué)固化之前Tg = 40℃

優(yōu)質(zhì)的固體光膠薄膜

接近等溫加工處理:壓印、紫外曝光固化,壓印與脫模在同一溫度下進(jìn)行

非常低的殘余膠層厚度低至10 nm

圖案轉(zhuǎn)移時高保真度

Plasma刻蝕阻抗性能優(yōu)于傳統(tǒng)的Novolak基光膠
可獲得優(yōu)于50 nm的分辨率(取決于模版分辨率)
寬帶或i線曝光



mr-UVCur06

旋涂使用

優(yōu)質(zhì)的成膜質(zhì)量和膠厚均一性

室溫加工處理

由于快速地填充模版孔隙從而縮短工藝時間

低劑量紫外曝光快速固化

可獲得優(yōu)于30 nm的分辨率(取決于模版分辨率)

Plasma刻蝕高阻抗性能

O2 Plasma刻蝕可無殘余去除

寬帶或i線曝光

邁可諾技術(shù)有限公司

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