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對(duì)閉壞控制方式機(jī)械手臂加上多軸規(guī)格
沒(méi)有水平移動(dòng)軸也能夠搬運(yùn)到并立配置的開(kāi)閉安全門(mén)臺(tái)，由于布局設(shè)計(jì)運(yùn)用自如，降低成本
適用于超級(jí)潔凈間要求的4軸圓柱坐標(biāo)潔凈機(jī)械手臂
在保持高性?xún)r(jià)比和高速傳輸特性的基礎(chǔ)上，解決了步進(jìn)電機(jī)常見(jiàn)的丟步問(wèn)題，
適用于2寸-300mm晶圓傳輸?shù)男滦碗p臂機(jī)械手臂

采用即使在負(fù)載發(fā)生突變或者加減速過(guò)大的情況也能夠避免電機(jī)丟步現(xiàn)象的閉環(huán)控制方式
有效地提高了機(jī)械手臂的可靠性
電機(jī)配備絕對(duì)值編碼器，機(jī)械手臂能夠在任何情況下知道自己的當(dāng)前位置
縮短了機(jī)械手臂各動(dòng)作軸尋找自身位置原點(diǎn)的時(shí)間
絕對(duì)值編碼器為機(jī)械式，不需要更換電池

可以和舊型號(hào)的本司產(chǎn)品兼容（安裝尺寸，性能互換），方便客戶對(duì)現(xiàn)有設(shè)備的升級(jí)改造
高強(qiáng)度手臂?手臂第3關(guān)節(jié)處可承受3kg力（包含腕部機(jī)構(gòu)模塊，手指，晶圓的質(zhì)量）
機(jī)械手臂標(biāo)準(zhǔn)臂長(zhǎng)：100mm, 130mm, 160mm, 200mm
可根據(jù)設(shè)備布局選擇基座固定方式，或法蘭固定方式
可選伯努利方式手指（Option

產(chǎn)品型號(hào) 升降軸最大行程
STCR4160SN-200-CM 200mm
STCR4160SN-300-CM 300mm
STCR4160SN-400-CM 400mm
STCR4160SN-450-CM 500mm
STCR4160SN-500-CM 600mm

4軸圓柱坐標(biāo)潔凈機(jī)械手臂STCR4160SN基本參數(shù)：
使用環(huán)境：潔凈間內(nèi)的大氣環(huán)境
手臂：雙臂
到達(dá)距離：315mm (手臂第3關(guān)節(jié)中心到達(dá)距離)
升降軸最大行程：200mm / 300mm / 400mm / 450mm / 500mm
可搬運(yùn)質(zhì)量：3kg (手臂第3關(guān)節(jié)處基準(zhǔn))