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SQ2Micro （0.06 Cv） 和 SQ2Micro130E （0.15 Cv） 是市場上最先進(jìn)的微型 UHP 減壓閥。該系列提供極其精確和可靠的壓力控制，可增強對半導(dǎo)體生產(chǎn)可重復(fù)性和良率至關(guān)重要的MFC（質(zhì)量流量控制器）性能。該系列還具有出色的泄漏完整性和低顆粒生成，可減少半導(dǎo)體應(yīng)用所必需的過程污染。
這些調(diào)壓閥適用于惰性和腐蝕性氣體，并對階躍功能流量需求變化提供非凡的響應(yīng)。該系列采用獨特的自定心系膜片設(shè)計，可提供可靠的閥座密封和壓力調(diào)節(jié)。通過消除提升彈簧和閥座固定螺紋，最大限度地減少顆粒的產(chǎn)生和截留，從而進(jìn)一步提高了工藝清潔度和吹掃性能。
SQ2Micro 系列接液部件由特種金屬制成，可在入口壓力高達(dá) 250 psig 時提供出色的耐腐蝕性、泄漏完整性和最長的循環(huán)壽命。閥體經(jīng)過內(nèi)部電拋光，由派克Veriplo專有的VeriClean? 316L不銹鋼制成，超過Semi F20材料要求，每個隔膜和提升閥芯均由哈氏合金C-22?制成，每個閥座均采用PCTFE或Vespel?。