| 產(chǎn)品參數(shù) |
| 品牌 | 德國(guó)SURAGUS |
| 是否支持加工定制 | 否 |
| 重量 | 10kg |
| 原理 | 非接觸式渦流 |
| 測(cè)試范圍地電導(dǎo)率 | 1 – 10 nm;2 – 5 精度 |
| 基材 | 薄膜、玻璃、晶圓 |
| 測(cè)試范圍標(biāo)準(zhǔn)電導(dǎo)率 | 10 – 1，000 nm;1 – 3 精度 |
| 設(shè)備尺寸 | 290 毫米 x 140 毫米 x 445 毫米 |
| 測(cè)試范圍高電導(dǎo)率 | 1 – 100 μm;0.5 – 3 精度 |
| 最大樣品厚度/傳感器間隙 | 3 / 5 / 10 / 25 m |
| 可售賣地 | 北京;天津;河北;山西;內(nèi)蒙古;遼寧;吉林;黑龍江;上海;江蘇;浙江;安徽;福建;江西;山東;河南;湖北;湖南;廣東;廣西;海南;重慶;四川;貴州;云南;西藏;陜西;甘肅;青海;寧夏;新疆 | |
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EddyCus? TF Lab 2020MT允許對(duì)透明和非透明層進(jìn)行非接觸式金屬厚度測(cè)量。測(cè)量是使用非接觸式渦流傳感器實(shí)現(xiàn)的。它實(shí)時(shí)挖掘具有已知或（更確切地說(shuō)）常數(shù)電導(dǎo)率的材料金屬厚度。這種非接觸式測(cè)試技術(shù)可以在很寬的厚度范圍內(nèi)進(jìn)行精確測(cè)量，從幾納米厚度開始，一直到對(duì)厚金屬板材和板材進(jìn)行表征。該技術(shù)還能夠表征被不利材料覆蓋的金屬層。SURAGUS 為非常薄的層以及非常厚的金屬和普通合金提供特定于材料的設(shè)置。該測(cè)量方法非常堅(jiān)固耐用，具有高重復(fù)性和高精度。此外，它不需要任何光學(xué)透明度，也不需要物理接觸。因此，它被用于廣泛的應(yīng)用，用于快速測(cè)試或系統(tǒng)質(zhì)量保證。
軟件和設(shè)備控制
非常人性化的軟件
直觀的觸摸顯示導(dǎo)航
實(shí)時(shí)測(cè)量薄板電阻和層厚度
軟件輔助手動(dòng)制圖選項(xiàng)
各種數(shù)據(jù)保存和導(dǎo)出選項(xiàng)
軟件 EddyCus? TF Lab 用于薄層電阻測(cè)量的控制
使用EddyCus? TF Lab 測(cè)量金屬厚度 2020SR-MT
EddyCus? TF Lab數(shù)據(jù)表 2020MT
測(cè)量技術(shù) 非接觸式渦流傳感器
基質(zhì) 箔、玻璃、晶圓等
基板面積 8 英寸 / 204 毫米 x 204 毫米（三面打開）
最大樣品厚度/傳感器間隙 3 / 5 / 10 / 25 mm （由最厚的樣品定義）
金屬厚度范圍
精度取決于所選的設(shè)置和金屬的類型/
電導(dǎo)率（例如銅、鋁、銀） 低 1 – 10 nm;2 – 5 精度
標(biāo)準(zhǔn) 10 – 1，000 nm;1 – 3 精度
高 1 – 100 μm;0.5 – 3 精度
金屬厚度校準(zhǔn) 直接厚度校準(zhǔn)/薄片電阻轉(zhuǎn)換
設(shè)備尺寸（無(wú)/高/深） 11.4“ x 5.5” x 17.5“ / 290 毫米 x 140 毫米 x 445 毫米
重量 10 公斤
更多可用功能/其他工具配置 薄片電阻測(cè)量/電導(dǎo)率/電阻率/電各向異性/滲透率
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