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勻膠機(jī)旋涂儀/旋涂儀/勻膠機(jī) 型號(hào)：MHY-100

一. 產(chǎn)品應(yīng)用
MHY-100型勻膠機(jī)（Spin Coater），是新一代旋轉(zhuǎn)涂膜設(shè)備，具有速度精度高，主動(dòng)式速度調(diào)控、勻膠過程多段程序控制等特點(diǎn)。主要用于微電子、半導(dǎo)體、制版、新能源、生物材料、光學(xué)器件等領(lǐng)域的表面涂膜工藝，例如各類納米薄膜材料、光阻涂覆、生物功能涂層的制備。

二. 產(chǎn)品特點(diǎn)
1. 機(jī)身外殼采用SUS304不銹鋼制作，防腐蝕、不生銹、易清潔。
2. 真空室采用316L耐腐蝕不銹鋼制作，防止長期使用過程中膠液的侵蝕。
3. 接膠盤為PP材料經(jīng)精加工制作而成，接儲(chǔ)脫離基片的膠液，避免進(jìn)入設(shè)備內(nèi)部。耐腐蝕、可拆卸、易清洗。
4. 旋轉(zhuǎn)臺(tái)采用鋁材制作，表面經(jīng)過硬質(zhì)氧化處理，耐摩擦同時(shí)避免劃傷基片底部。防止膠液的腐蝕。
5. 勻膠過程自動(dòng)分段程序控制。整個(gè)勻膠過程可分十段進(jìn)行，每段的加速時(shí)間、旋轉(zhuǎn)速度、勻膠時(shí)間均可精密控制、連續(xù)可調(diào)。

6. 4.3英寸液晶觸摸屏使控制更方便；運(yùn)行狀態(tài)及各項(xiàng)參數(shù)實(shí)時(shí)顯示，更直觀了解勻膠進(jìn)程；
7. 旋轉(zhuǎn)前增加預(yù)吸片步驟，“預(yù)吸片時(shí)間”為99s，確保基片牢固吸附于旋轉(zhuǎn)臺(tái)后再進(jìn)行旋轉(zhuǎn)涂膜。勻膠完成后增加解吸片步驟，“解吸片時(shí)間”最多為99s，確保安全停止后再切斷真空，釋放基片，防止涂膜后的基片滑落，對(duì)膜層造成損傷。
8. 采用穩(wěn)定的直流電機(jī)及驅(qū)動(dòng)器，旋轉(zhuǎn)速度采用主動(dòng)控制方式，區(qū)別于老舊的被動(dòng)測速控制方式，從而使旋轉(zhuǎn)速度更精確。
9. 標(biāo)配無油真空泵，低噪音。大吸力將基片緊緊吸附于旋轉(zhuǎn)臺(tái)，防止飛片。

三. 技術(shù)參數(shù)
1. 旋涂速度：400～8000 rpm
2. 轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度：1rpm
3. 每段加速時(shí)間：1～99 s
4. 每段勻膠時(shí)間：1～99 s
5. 預(yù)吸片時(shí)間：1～99 s
6. 解吸片時(shí)間：1～99 s
7. 鍍膜尺寸：5-100mm
8. 真空泵抽氣速率：60L/min

本產(chǎn)品價(jià)格僅為配件價(jià)格，由于檢測參數(shù)不同對(duì)儀器的最終要求也不同，所展示的價(jià)格并非產(chǎn)品最終價(jià)格，如給您帶來不便請(qǐng)諒解
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