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單面紫外光刻機

型號：URE-2000/25

簡單介紹：光刻機：(英文名：Mask ALIGENER)又名曝光機, 該型號光刻機創(chuàng)新采用三柔性支點實現(xiàn)高精度自動調(diào)平；真空接觸自動曝光；樣片升降、調(diào)平、接觸、曝光、復(fù)位實現(xiàn)自動化控制；采用創(chuàng)新技術(shù)積木錯位蠅眼透鏡實現(xiàn)高均勻照明；可連續(xù)設(shè)定分離間隙；采用雙目雙視場顯微鏡實現(xiàn)高對準精度。整機具有性能可靠、操作方便、自動化程度高等特點。

一．技術(shù)特征——非常適合工廠（效率高，操作傻瓜型，自動型）和高校教學科研（可靠性好，演示方便）采用創(chuàng)新技術(shù)——積木錯位蠅眼透鏡平滑衍射效應(yīng)和實現(xiàn)均勻照明；

1、采用三爪和球氣浮同時找平，無論大片、小片調(diào)平精度均高；

2、具備真空接觸曝光、硬接觸曝、壓力接觸曝光，以及接近式曝光四種功能；

3、自動分離對準間隙和消除曝光間隙，間隙分離可達500μm；

4、高倍率雙目雙視場顯微鏡和19英寸寬屏液晶顯示同時觀察對準過程；既滿足高精度對準，又可用于檢測曝光結(jié)果，且曝光結(jié)果和方便存儲；

5、電機機構(gòu)、彈性元件和傳感器保證接觸曝光壓力合適且重復(fù)性好；

7、曝光波長采用純凈365nm,冷光照明（曝光面能量35mW/cm ，能量方便可調(diào)，溫度小于30度）；