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產(chǎn)品名稱：URE-2000/17型紫外光刻機(jī)
主要技術(shù)指標(biāo)：
曝光面積：100mm×100mm
分辨力：1.5μm（膠厚2μm的正膠）；
對(duì)準(zhǔn)精度：±1μm
最大膠厚：
掩模尺寸:2.5 inch、3 inch、4 inch、5 inch
樣片尺寸：直徑Ф15mm--Ф100mm、厚度0.1mm--6mm(可擴(kuò)展為15mm)；
照明均勻性：±6（Ф100mm 范圍）
汞燈功率：200W（直流）
掩模相對(duì)于樣片運(yùn)動(dòng)行程：X: ±5mm; Y: ±5mm; θ: ±6°
技術(shù)特點(diǎn)：
采用雙目雙視場顯微鏡對(duì)準(zhǔn)；球碗調(diào)平,單片機(jī)控制,觸摸開關(guān),操作方便、實(shí)用性強(qiáng)。