| 歐波同分析中心SEM-CL掃描電鏡陰極熒光第三方測試 |
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北京歐波同光學技術(shù)有限公司
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陰極熒光光譜（cathodoluminescence spectroscopy）簡稱CL譜，是指利用電子束激發(fā)半導(dǎo)體，將價帶電子激發(fā)到導(dǎo)帶并在價帶留下空穴，而后由于導(dǎo)帶能量高不穩(wěn)定，被激發(fā)電子又重新躍遷回價帶與空穴復(fù)合，并釋放出能量E≤Eg（能隙）的特征熒光譜。 例1：石英晶體CL像
例2：CL在半導(dǎo)體中的應(yīng)用
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