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DESA 100是兩級(jí)能量光譜儀。選擇圓柱幾何形狀以保持高的靈敏度。輸入透鏡和能量光譜儀這兩個(gè)階段均來(lái)自柱面鏡配置。與標(biāo)準(zhǔn)CMA不同，聚焦是通過(guò)調(diào)節(jié)內(nèi)，外圓柱的電位來(lái)實(shí)現(xiàn)的。此外，粒子進(jìn)入圓柱體之間的圓柱鏡區(qū)域，而不是通過(guò)狹縫進(jìn)入內(nèi)圓柱體。好處是光譜儀和樣品之間的工作距離長(zhǎng)達(dá)55毫米，從而使樣品在復(fù)雜和大型系統(tǒng)中的定位變得容易。在能量選擇之前，使顆粒減速。通過(guò)調(diào)節(jié)通過(guò)光譜儀的粒子能量可以實(shí)現(xiàn)可變分辨率。
-高靈敏度
圓柱幾何形狀具有非常大的立體角，具有好的透射率和靈敏度。大立體角對(duì)于 使用精細(xì)聚焦電子束的高靈敏度AES和掃描俄歇顯微鏡非常有用。對(duì)于光電子光譜學(xué)來(lái)說(shuō)，樣品在更大的范圍內(nèi)被激發(fā)，輸入透鏡將被分析的表面限制在輪廓分明的圓形斑點(diǎn)上。

-可變的能量分辨率
可以調(diào)整通過(guò)光譜儀的粒子的能量，并且可以在很寬的數(shù)值范圍（100 meV至6 eV）中選擇能量分辨率。分辨率由計(jì)算機(jī)控制，可以針對(duì)每個(gè)采集窗口獨(dú)立調(diào)整。
-高能量分辨率功能
將分辨力設(shè)置為大于0.05％的值使DESA 100可以研究峰的精細(xì)結(jié)構(gòu)并獲得有關(guān)表面化學(xué)狀態(tài)的線索。這樣的高能量分辨率也可以在大型蒸發(fā)系統(tǒng)中執(zhí)行，從而提供了在生長(zhǎng)過(guò)程中對(duì)表面化學(xué)狀態(tài)進(jìn)行原位和實(shí)時(shí)監(jiān)控的獨(dú)特功能。
-非關(guān)鍵的樣品定位樣品

位置可以從其標(biāo)稱位置偏移幾毫米，而不會(huì)降低分析質(zhì)量。55 mm的工作距離可以改變3 mm，而不會(huì)降低信號(hào)質(zhì)量。傳輸和能量校準(zhǔn)均保持穩(wěn)定。這種獨(dú)特的功能使DESA 100非常適用于所有表面分析系統(tǒng)，包括結(jié)合了多種分析和沉積技術(shù)的大型系統(tǒng)。
-掃描俄歇顯微鏡
由于其較大的接收角度，優(yōu)越的小光點(diǎn)靈敏度使DESA 100非常適合于掃描俄歇顯微鏡。使用MICROFOCUS電子槍可以為二次電子顯微鏡和掃描俄歇顯微鏡提供較高的空間分辨率。DESA 100的體積小，非常適合作為掃描電子顯微鏡的附加組件。