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全自動(dòng)紫外光刻機(jī)URE-2000\/35

$全自動(dòng)紫外光刻機(jī)URE-2000\/35$	價(jià)格：20000.00 元(人民幣)	產(chǎn)地：上海上海
	最少起訂量：1	發(fā)貨地：上海上海
	上架時(shí)間：2024-02-09 09:17:38	瀏覽量：42
	米歇爾集團(tuán)上海工程技術(shù)有限公司
	經(jīng)營(yíng)模式：生產(chǎn)加工	公司類型：股份合作企業(yè)
	所屬行業(yè)：變送器	主要客戶：石油化工行業(yè)
	在線咨詢

聯(lián)系方式

聯(lián)系人:陳先生 (先生)	手機(jī):15102116866
電話:	傳真:
郵箱:michell@email.cn	地址:上海市博園路1333號(hào)北虹橋大廈8509室

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品參數(shù)
全自動(dòng)紫外光刻機(jī)URE-2000/35 品牌	鑫有研 SIYOUYEN

紫外光刻機(jī)
產(chǎn)品名稱：URE-2000/35型紫外光刻機(jī)
創(chuàng)新采用三柔性支點(diǎn)實(shí)現(xiàn)高精度自動(dòng)調(diào)平；真空接觸自動(dòng)曝光；樣片升降、調(diào)平、接觸、曝光、復(fù)位實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化控制；采用積木錯(cuò)位蠅眼透鏡實(shí)現(xiàn)高均勻照明；可連續(xù)設(shè)定分離間隙；采用雙目雙視場(chǎng)顯微鏡實(shí)現(xiàn)高對(duì)準(zhǔn)精度。整機(jī)具有性能可靠、操作方便、自動(dòng)化程度高等特點(diǎn)。
主要技術(shù)指標(biāo)：
曝光面積：100mm×100mm
分辨力：1um（膠厚1.5μm的正膠）
對(duì)準(zhǔn)精度：±0.8μm
最大膠厚：300μm（SU8膠）
掩模尺寸:2.5 inch、3 inch、4 inch、5 inch
樣片尺寸：直徑Ф15mm--Ф100mm、厚度0.1mm--6mm(可擴(kuò)展為15mm)；
照明均勻性：±4（Ф100mm 范圍）
汞燈功率：350W（直流）
掩模相對(duì)于樣片運(yùn)動(dòng)行程：X: ±5mm; Y: ±5mm; θ: ±6°

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