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單面紫外光刻機(jī),教學(xué)光刻機(jī)URE200017

	價(jià)格：150000.00 元(人民幣)	產(chǎn)地：上海上海
	最少起訂量：1	發(fā)貨地：上海上海
	上架時(shí)間：2024-02-09 09:17:10	瀏覽量：47
	米歇爾集團(tuán)上海工程技術(shù)有限公司
	經(jīng)營模式：生產(chǎn)加工	公司類型：股份合作企業(yè)
	所屬行業(yè)：變送器	主要客戶：石油化工行業(yè)
	在線咨詢

聯(lián)系方式

聯(lián)系人:陳先生 (先生)	手機(jī):15102116866
電話:	傳真:
郵箱:michell@email.cn	地址:上海市博園路1333號(hào)北虹橋大廈8509室

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品參數(shù)
品牌	鑫有研

產(chǎn)品名稱：URE-2000/17型紫外光刻機(jī)
主要技術(shù)指標(biāo)：
曝光面積：100mm×100mm
分辨力：1.5μm（膠厚2μm的正膠）；
對準(zhǔn)精度：±1μm
最大膠厚：
掩模尺寸:2.5 inch、3 inch、4 inch、5 inch
樣片尺寸：直徑Ф15mm--Ф100mm、厚度0.1mm--6mm(可擴(kuò)展為15mm)；
照明均勻性：±6（Ф100mm 范圍）
汞燈功率：200W（直流）
掩模相對于樣片運(yùn)動(dòng)行程：X: ±5mm; Y: ±5mm; θ: ±6°
技術(shù)特點(diǎn)：
采用雙目雙視場顯微鏡對準(zhǔn)；球碗調(diào)平,單片機(jī)控制,觸摸開關(guān),操作方便、實(shí)用性強(qiáng)。

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