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PLS 960 系列多點液位探頭采用套筒式緊湊結構設計，主要應用于半導體
行業(yè)。 適合起泡器、試管、 安瓿瓶和供應罐內(nèi)高純度化學品液位的高精度和
高可靠性的測量。液位計在化學氣相沉積過程中至關重要，如 ALD， CVD，
PVD 等半導體晶圓制造過程。 PLS 9600 系列多點液位計專業(yè)用于檢測非常昂
貴的超高純度化學品（DEAT， DMAH， TAETO， TEOS 和金屬化初級粒子等）
的確切數(shù)量，減少化學廢物，增加產(chǎn)量和利潤。

該液位計采用超聲波技術檢測液體在容器中的存在狀態(tài)，無可移動部
件，液位檢測不受被測物的介電常數(shù)、 種類、 顏色、 密度和粘度的影響。
探頭采用 316L 不繡鋼材質(zhì)，結構上可通過 VCR 等與容器連接，在運輸和
使用過程中與容器不分離 ， 通過了 5E-09 ATM-CC/Sec HE 的真空泄漏測試。
K 型溫度計可選。

模塊不需要校準。通過模塊的算法和控制， 探頭可不受被測物的介電常
數(shù)、種類、顏色、密度和粘度的影響均可準確測量。每個傳感點位有 1A
SPDT 繼電器輸出，下列型號是第 5 個繼電器的選項。
P/N 096-20004:- 4 X 1A SPDT with an Auto-Fill / Auto-Empty relay (B & C)
P/N 096-20014:- 4 X 1A SPDT with Fault Relay (no sensor, lower point dry while
point above shows wet).
P/N 096-20034:- 4 X 1A SPDT with Fault Relay and Thermocouple K-type display.
P/N 096-20054:- 4 X 1A SPDT with Fault Relay in Fail-safe mode.
P/N 096-20094:- 4 X 1A SPDT with Fault Relay and Thermocouple K-type display
in Fail-safe mode.

探頭如所述要求裝入容器，注意不要損壞 VCR 接頭。進料前先做泄漏測
試。
模塊外殼有 4 個安裝孔（參考下圖尺寸圖）。確保模塊外殼用導通（金
屬） 螺絲固定在接地平面臺上。 撕掉模塊電路一個固定孔上的標簽以確保與
接地平面臺上的穩(wěn)固連接。3 | P a g e
從負極接地線到安裝孔，以確保負極與接地平面臺同樣是地極。 (參考如
下接線連接圖)
輸入電源是 24VDC /- 10 。