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高分辨率、高精度手動紫外光刻機(jī)URE-2000\/25LURE-2000\/25

$高分辨率、高精度手動紫外光刻機(jī)URE-2000\/25LURE-2000\/25$	價(jià)格：200000.00 元(人民幣)	產(chǎn)地：北京北京
	最少起訂量：1	發(fā)貨地：北京北京
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	上海鑫有研電子科技有限公司
	經(jīng)營模式：其他	公司類型：中外合資經(jīng)營
	所屬行業(yè)：專用儀器	主要客戶：各大高校，研究院及企事業(yè)單位
	在線咨詢

聯(lián)系方式

聯(lián)系人:陳經(jīng)理 (先生)	手機(jī):13761297466
電話:	傳真:
郵箱:siyouyen@sina.com	地址:上海市楊浦區(qū)寧國路313號龍澤大廈9號906室

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品參數(shù)
高分辨率、高精度手動紫外光刻機(jī)URE-2000/25L URE-2000/25 品牌	鑫有研

高精度紫外光刻機(jī)
型號：URE-2000/25 URE-2000/25L
主要技術(shù)指標(biāo)：
曝光面積：100mm×100mm
分辨力：1.5μm（膠厚1.5μm的正膠）
對準(zhǔn)精度：±0.8μm
最大膠厚：300μm（SU8膠）
掩模尺寸:2.5 inch、3 inch、4 inch、5 inch
樣片尺寸：直徑Ф15mm--Ф100mm、厚度0.1mm--6mm(可擴(kuò)展為15mm)；
照明均勻性：±4（Ф100mm 范圍）
汞燈功率：200W（直流）
掩模相對于樣片運(yùn)動行程：X: ±5mm; Y: ±5mm; θ: ±6°
技術(shù)特點(diǎn)：
球氣浮實(shí)現(xiàn)高精度調(diào)平；超精密手輪對準(zhǔn)調(diào)節(jié)，單片機(jī)控制,觸摸開關(guān)操作；整機(jī)精度高、性能可靠

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