背景技術(shù):
電子級(jí)化學(xué)品,又稱(chēng)超凈高純?cè)噭╱ltra-cleanandhigh-purityreagents),國(guó)際上統(tǒng)稱(chēng)為工藝化學(xué)品,美歐和中國(guó)臺(tái)灣地區(qū)又稱(chēng)濕化學(xué)品,是超大規(guī)模集成電路(俗稱(chēng)“芯片”)制作過(guò)程中的關(guān)鍵性基礎(chǔ)化工材料之一,其中電子級(jí)乙醇主要用于芯片、液晶、磁頭、線路板等精密電子元器件加工過(guò)程中的超凈清洗、干燥,以及凈化間用具的超凈清潔有機(jī)溶劑。當(dāng)乙醇中含有堿金屬雜質(zhì)(鈉、鉀、鈣等)時(shí),雜質(zhì)將溶進(jìn)氧化膜中,造成耐絕緣電壓下降;當(dāng)重金屬(銅、鐵、鉻、銀等)存在,則會(huì)使p-n結(jié)耐電壓降低。因此,其純度和潔凈度對(duì)集成電路的成品率、電性能以及可靠性都有著十分重要的影響。
制備超凈高純乙醇的現(xiàn)有技術(shù)包括吸附,精餾,亞沸蒸餾,干燥和過(guò)濾工藝的一種或者幾種。例如中國(guó)專(zhuān)利《一種制備超低金屬離子濃度乙醇的裝置》中敘述了通過(guò)亞沸蒸餾獲得超低金屬離子濃度的電子級(jí)乙醇,但此種方法效率較低,不適合工業(yè)生產(chǎn)。中國(guó)專(zhuān)利《一種制備超凈高純醇類(lèi)試劑的方法》中敘述了無(wú)水乙醇通過(guò)改性碳纖維吸附,得到不含離子的超凈高純醇類(lèi)試劑,但此方法不適合工業(yè)級(jí)含水乙醇作為原料直接處理,且在處理吸附劑時(shí)需使用氧化劑,具有一定的安全隱患。中國(guó)專(zhuān)利《一種超純度無(wú)水乙醇的提純方法》中敘述了無(wú)水乙醇通過(guò)微量的氫氧化鋇,然后進(jìn)行微膜過(guò)濾,過(guò)濾后進(jìn)行精餾。此方法并沒(méi)有說(shuō)明對(duì)陰陽(yáng)離子的去除。