KT-Z1650CVD是一款小型臺(tái)式蒸發(fā)功率可控蒸發(fā)鍍膜儀，儀器雖小功能齊全，配備有電壓 電流反饋,樣品臺(tái)旋轉(zhuǎn)，樣品高度調(diào)節(jié)，及電動(dòng)擋板功能。通過定時(shí)調(diào)節(jié)預(yù)熱功率及蒸發(fā)功率，可對(duì)大部分金屬進(jìn)行均勻蒸發(fā)沉積，真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染，樣品臺(tái)可旋轉(zhuǎn)以獲得更均勻的薄膜，可制備各種金屬薄膜和有機(jī)物薄膜。
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設(shè)備名稱 |
小型濺射儀 |
小型蒸鍍儀 |
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控制方式 |
7寸人機(jī)界面 手動(dòng) 自動(dòng)模式切換控制 |
7寸人機(jī)界面 手動(dòng) 自動(dòng)模式切換控制 |
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工作電源 |
直流濺射電源 |
直流熱蒸發(fā)電源 |
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鍍膜功能 |
0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序 |
0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序 |
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功率 |
≤1000W |
≤1500W |
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輸出電壓電流 |
電壓≤1000V 電流≤1A |
電壓≤12V 電流≤100A |
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真空 |
機(jī)械泵 ≤5Pa（5分鐘） 分子泵≤5*10^-3Pa |
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腔體真空 |
≤30Pa |
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擋板類型 |
電控 |
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真空腔室 |
石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm |
石英腔體φ160mm x 160mm |
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樣品臺(tái) |
可旋轉(zhuǎn)φ62 （可安裝φ50基底） |
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樣品臺(tái)轉(zhuǎn)速 |
8轉(zhuǎn)/分鐘 |
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樣品濺射源調(diào)節(jié)距離 |
40-105mm |
70-140mm |
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蒸發(fā)坩堝容積 |
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3ML |
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蒸發(fā)溫度調(diào)節(jié) |
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≤1600℃ |
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真空測(cè)量 |
皮拉尼真空計(jì)（已安裝 測(cè)量范圍10E5Pa 1E-1Pa） |
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預(yù)留真空接口 |
KF25抽氣口 KF16放氣口 6mm卡套進(jìn)氣口 |
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可選配擴(kuò)展 |
1 膜厚在線測(cè)試 2 分子泵 |
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