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    KRI 考夫曼射頻離子源 RFICP220 濺射沉積納米純 Ti 薄膜
    發(fā)布者:bdqysh  發(fā)布時(shí)間:2021-02-22 17:30:31

     Ti 薄膜具有優(yōu)異的力學(xué)性能、熱穩(wěn)定性、生物相容性和良好的抗摩擦磨損性被廣泛應(yīng)用于航空、醫(yī)療器械、光學(xué)和微電子器件等領(lǐng)域因此具有重要的研究?jī)r(jià)值.

     

    西安某大學(xué)實(shí)驗(yàn)室在納米純 Ti 薄膜的研究中采用伯東 KRI 考夫曼射頻離子源 RFCIP220 濺射沉積納米純 Ti 薄膜制備出的純Ti薄膜可集膜層致密光滑、沉積速率快和平均晶粒尺寸小于20nm等優(yōu)點(diǎn).

     

    伯東 KRI 射頻離子源 RFICP220 技術(shù)參數(shù):

    離子源型號(hào)

    RFICP220

    Discharge

    RFICP 射頻

    離子束流

    >800 mA

    離子動(dòng)能

    100-1200 V

    柵極直徑

    20 cm Φ

    離子束

    聚焦,  平行,  散射

    流量

    10-40 sccm

    通氣

    Ar,  Kr,  Xe,  O2,  N2,  H2,  其他

    典型壓力

    < 0.5m Torr

    長(zhǎng)度

    30 cm

    直徑

    41 cm

    中和器

    LFN 2000

    可選燈絲中和器可變長(zhǎng)度的增量

    KRI 射頻離子源 RFICP 220

    該濺射沉積是在真空 9×10-5Pa—3×10-4Pa 的真空腔里, 通入氣流量為 70ml/min 的氬氣利用 KRI 考夫曼射頻離子源 RFCIP220 產(chǎn)生的氬離子轟擊靶材濺射沉積 Ti 膜層鍍膜持續(xù)時(shí)間3090min完成鍍膜的樣品待冷卻后取出.

     

    KRI 離子源的獨(dú)特功能實(shí)現(xiàn)了更好的性能增強(qiáng)的可靠性和新穎的材料工藝. KRI 離子源已經(jīng)獲得了理想的薄膜和表面特性而這些特性在不使用 KRI 離子源技術(shù)的情況下是無(wú)法實(shí)現(xiàn)的.

     

    因此該研究項(xiàng)目才采用 KRI 考夫曼射頻離子源 RFCIP220 輔助濺射沉積工藝.

     

    伯東是德國(guó) Pfeiffer 真空泵,  檢漏儀,  質(zhì)譜儀,  真空計(jì),  美國(guó) KRI 考夫曼離子源,  美國(guó)HVA 真空閥門(mén),  美國(guó) inTEST 高低溫沖擊測(cè)試機(jī),  美國(guó) Ambrell 感應(yīng)加熱設(shè)備和日本 NS 離子蝕刻機(jī)等進(jìn)口知名品牌的代理商.

     

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