外加電壓使氣體電離的過程中，被電離出的等離子體溫度高，但整個體系呈現(xiàn)低溫狀態(tài)，所以又被稱為低溫等離子體。由于低溫等離子體產(chǎn)生不需催化劑，且對有機廢氣的濃度要求不高，所以特別適合處理汽車行業(yè)噴漆、烘干過程中產(chǎn)生的有機廢氣。經(jīng)過低溫等離子焚燒后的廢氣轉(zhuǎn)化為CO2和H2O，不產(chǎn)生二次污染，并且處理后的氣體無異味，處理效率高。為低溫等離子廢氣處理工藝流程圖。從圖中可以看出，DBD燃燒器是整個工藝過程中的核心，廢氣在燃燒器中進行分解和轉(zhuǎn)化為無毒無害的無機分子，達到處理廢氣的目的。