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    Hakuto 離子蝕刻機(jī) 10IBE 用于提升碳化硅微光學(xué)元件的品質(zhì)
    發(fā)布者:bdqysh  發(fā)布時(shí)間:2020-11-23 15:54:29

    某光學(xué)元件制造商為了優(yōu)化碳化硅微光學(xué)元件降低碳化硅微光學(xué)元件表面粗糙度采用 Hakuto 離子蝕刻機(jī) 10IBE 對(duì)其進(jìn)行優(yōu)化.

    Hakuto 離子蝕刻機(jī) 10IBE技術(shù)參數(shù):

    基板尺寸

    < Ф8 X 1wfr

    樣品臺(tái)

    直接冷卻(水冷)0-90 度旋轉(zhuǎn)

    離子源

    16cm
    考夫曼離子源

    均勻性

    ±5% for 4”Ф

    硅片刻蝕率

    20 nm/min

    溫度

    <100

     

    該制造商采用的 Hakuto 離子刻蝕機(jī) 10IBE 的核心構(gòu)件離子源是配伯東公司代理美國(guó) 考夫曼博士創(chuàng)立的 KRI考夫曼公司的考夫曼離子源 KDC 160

    伯東美國(guó) KRI 考夫曼離子源 KDC 160 技術(shù)參數(shù):

     離子源型號(hào)

     離子源 KDC 160 

    Discharge

    DC 熱離子

    離子束流

    >650 mA

    離子動(dòng)能

    100-1200 V

    柵極直徑

    16 cm Φ

    離子束

    聚焦平行散射

    流量

    2-30 sccm

    通氣

    Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

    典型壓力

    < 0.5m Torr

    長(zhǎng)度

    25.2 cm

    直徑

    23.2 cm

    中和器

    燈絲

    可選可調(diào)角度的支架

     

    Hakuto 離子刻蝕機(jī) 10IBE 配的是 Pfeiffer 渦輪分子泵 Hipace 700, 可抽的真空度 < 1 · 10-7 hpa, 良好的保持刻蝕室的真空度.

    其產(chǎn)品優(yōu)勢(shì):

    1.結(jié)構(gòu)緊湊但功能強(qiáng)大的渦輪泵,用于 N2 時(shí)的最高抽速可達(dá) 685 l/s

    2.最佳真空性能,最低功耗

    3.集成的帶 Profibus 的驅(qū)動(dòng)電子裝置 TC 400

    4.可在任何方向安裝

    5.帶有集成型水冷系統(tǒng)以保證最大氣體流量

    6.通過(guò) M12 插接頭的 Profibus 連接

    7.廣泛的配件擴(kuò)展使用范圍

     

    運(yùn)行結(jié)果:

    1. 經(jīng)過(guò) Hakuto 離子蝕刻機(jī) 10IBE 對(duì)碳化硅微納結(jié)構(gòu)進(jìn)行刻蝕, 以調(diào)控結(jié)構(gòu)的線寬和深度, 使結(jié)構(gòu)表面粗糙度由約106nm降低到11.8nm.

    2. 碳化硅菲涅爾波帶片展現(xiàn)出良好的聚焦和成像效果.

     

     

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    上海伯東 : 羅先生                               臺(tái)灣伯東 : 王小姐
    T: +86-21-5046-1322                   T: +886-3-567-9508 ext 161
    F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
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