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    伯東 KRI 考夫曼射頻離子源 RFICP140 用于鍍制 TiN 薄膜
    發(fā)布者:bdqysh  發(fā)布時間:2020-11-17 14:26:42

    傳統(tǒng)磁控濺射制備工藝存在一個突出的問題, 當離子能量較低時,在濺射沉積過程中會發(fā)生 “遮蔽效應”, 會使薄膜結構疏松, 產生孔隙等缺陷, 這直接影響著薄膜的性能.

     

    為提高制備薄膜的致密度, 減少結構缺陷, 提高耐蝕性能, 國內某光學薄膜制造商采用伯東 KRI 考夫曼聚焦型射頻離子源 RFICP140 用于磁控濺射鍍制 TiN 薄膜.

     

    伯東 KRI 射頻離子源 RFICP140 技術參數:

    型號

    RFICP 140

    Discharge

    RFICP 射頻

    離子束流

    >600 mA

    離子動能

    100-1200 V

    柵極直徑

    14 cm Φ

    離子束

    聚焦

    流量

    5-30 sccm

    通氣

    Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

    典型壓力

    < 0.5m Torr

    長度

    24.6 cm

    直徑

    24.6 cm

    中和器

    LFN 2000

    客戶采用離子源輔助磁控濺射鍍膜技術在 304 不銹鋼和 P 型(100)晶向硅片上制備TiN納米薄膜.

     

    推薦理由:

    聚焦型射頻離子源一方面可以增加束流密度, 提高濺射率; 另一方面減小離子束的散射面積, 減少散射的離子濺射在靶材以外的地方引起污染

     

    運行結果:

    1. 通過KRI 考夫曼聚焦型射頻離子源 RFICP140 濺射作用將優(yōu)先形成的遮蔽效應, 制備的薄膜具有較高致密度.

    2. 減少結構缺陷

    3. 提高耐蝕性能

     

    伯東是德國 Pfeiffer 真空泵檢漏儀質譜儀真空計, 美國 KRI 考夫曼離子源, 美國HVA 真空閥門, 美國 inTEST 高低溫沖擊測試機, 美國 Ambrell 感應加熱設備和日本 NS 離子蝕刻機等進口知名品牌的指定代理商.

     

     

    若您需要進一步的了解詳細信息或討論, 請參考以下聯(lián)絡方式:

    上海伯東: 羅先生                               臺灣伯東: 王女士
    T: +86-21-5046-1322                   T: +886-3-567-9508 ext 161
    F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
    M: +86 152-0195-1076                     M: +886-939-653-958
    ec@hakuto-vacuum.cn                      ec@hakuto.com.tw
    www.hakuto-china.cn                    www.hakuto-vacuum.com.tw

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