千斗工業(yè)設備（蘇州）有限公司代理銷售日本佐藤真空蒸鍍裝置HSV系列
備，自動化設備制造，醫(yī)藥研發(fā)，大學研究所等領域。
| 模型 | HSV-3-30G | HSV-8-50 | HSV-12-80 | ||
|---|---|---|---|---|---|
| 極限壓力 | ×10 -3帕 | ×10 -4帕 | |||
| 基板加熱溫度 | - | MAX300℃ | |||
| 蒸發(fā)源（電極） | 2對10V Max150A | 2對20V Max200A | |||
| 閥門操作 | 手動的 | 自動的 | 手動的 | 自動的 | 手動的 |
| 真空室 |
φ300×H300mm 透明玻璃 |
φ500×H500mm（水冷） SUS 304 |
φ800×H700mm（水冷）/前門式 SUS 304 |
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| 旋轉機構 | - | 公轉機構 | 自轉/公轉機構 | ||
| 內部機制 | 快門機構、電阻加熱機構 | 快門機構、加熱器、電阻加熱機構 | |||
| 主泵 | 油擴散3英寸 | 油擴散8英寸 | 油擴散 12 英寸或低溫 | ||
| 輔助泵 | 150升/分鐘 | 500升/分鐘 | 1500升/分鐘 | ||
| 主閥 | 3英寸 | 8英寸 | 12英寸 | ||