在真空氣氛中加熱的設(shè)備，根據(jù)溫度范圍的不同，加熱器材料、溫度控制傳感器、容器結(jié)構(gòu)和材料也有所不同。
按類型分類
| I 型內(nèi)熱/碳 | Ⅱ類內(nèi)熱、金屬等 | Ⅲ型外熱 | |
|---|---|---|---|
| 模型 | 甚高頻-Ⅰ(C) | 甚高頻-Ⅰ(男) | 甚高頻-E |
| 加熱溫度范圍 |
超高溫、高溫(1)、高溫(2) 700～2300℃ |
超高溫、高溫 (1) 1000 至 2300°C |
高溫（1）、高溫（2） 700-1600℃ |
| 加熱器材料 | 硬碳 |
金屬加熱器 （鎢、鉬、碳化硅） |
金屬加熱器 （Kanthal 金屬絲/碳化硅） |
| 容器材質(zhì) |
不銹鋼：SUS304 （帶水冷套） |
不銹鋼：SUS304 （帶水冷套） |
爐芯管材質(zhì)： 氧化鋁管（1600℃） 石英玻璃管（1200℃） |
| 結(jié)構(gòu) |
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加熱器材料有兩種類型：碳型（I型）和金屬型（II型）。碳基加熱器成本低，但會(huì)產(chǎn)生細(xì)粉，因此如果需要清潔度，則使用金屬基加熱器。此外，在即使在高溫范圍內(nèi)溫度也相對(duì)較低的高溫范圍(2)中，可以根據(jù)加熱器材料(類型III)使用低成本的康泰爾線或碳化硅材料。
由于在超高溫（1）區(qū)加熱區(qū)溫度較高，從安全的角度考慮，容器多為雙層結(jié)構(gòu)水冷套型（Ⅰ型、Ⅱ型）和材料是不銹鋼。
小的也可選擇III型（管式爐）形狀。容器材質(zhì)為氧化鋁管或石英玻璃管，有效面積為圓柱形。
溫度范圍和成分
| 分類 | 加熱溫度 | 控制傳感器 | 加熱器材料（加熱方式） |
|---|---|---|---|
| 超高溫 | 1400-2300℃ | 輻射溫度計(jì) | 碳加熱器、金屬加熱器（W、Mo）*1 |
| 高溫 (1) | 1000-1500℃ | 鉑銠熱電偶（S型、R型、B型） | 碳加熱器、金屬加熱器（Mo、SiC）*1 |
| 高溫 (2) | 700-1100℃ | 鉻鋁熱電偶（K型） | 康泰爾電熱絲 |
*1) Mo：鉬 W：鎢 SiC：碳化硅
在超高溫區(qū)域，使用輻射溫度計(jì)是因?yàn)闊o法通過將傳感器插入加熱到高溫的區(qū)域來測(cè)量溫度。在高溫范圍，K型熱電偶（alumel-chromel）用于700°C至1100°C（高溫（2）），S，R和B型（A鉑-鉑銠合金）熱電偶插入加熱區(qū)測(cè)量溫度。
冷卻方式有自然冷卻、氣冷、油冷等。如果想在短時(shí)間內(nèi)降溫，也可以安裝單獨(dú)的冷卻室。
根據(jù)真空爐的用途和壓力范圍選擇真空泵的配置。如果要求清潔，可選擇干泵、干泵+渦輪分子泵或低溫泵。
壓力區(qū)（真空度）和真空泵
| 壓力（帕）* | 真空泵 |
|---|---|
| 空氣到 3.0 | 油旋轉(zhuǎn)泵 |
| 大氣~10 | 干泵 |
| 1000 至 0.4 | 機(jī)械增壓+油回轉(zhuǎn)泵 |
| 3 至 1× 10–3 | 油擴(kuò)散泵+油旋轉(zhuǎn)泵 |
| 200 至 2× 10–5 | 渦輪分子泵+干泵或渦輪分子泵+油旋轉(zhuǎn)泵 |
| 40 到10–7 | 低溫泵+干泵或低溫泵+油旋轉(zhuǎn)泵 |
*) 壓力（真空度）為容器內(nèi)部壓力，高于真空泵吸入壓力的原因是管道阻力和容器內(nèi)氣體產(chǎn)生。
將加工材料放入設(shè)備后，抽真空、加熱、冷卻、恢復(fù)常壓等一系列工序可自動(dòng)進(jìn)行（全自動(dòng)運(yùn)行），也可選擇手動(dòng)操作，分別對(duì)各工序進(jìn)行操作。
加熱溫度控制也可以通過簡(jiǎn)單地加熱溫度，或通過設(shè)置設(shè)定溫度和加熱時(shí)間的程序控制來選擇。
PID控制用于溫度控制。
安全電路：檢測(cè)加熱器過熱、冷卻水不足、真空異常等，使加熱器停止或完全停止。