千斗工業(yè)科技有限公司專業(yè)代理日本yutaka-crown壓力調(diào)節(jié)器，減壓閥， 壓力調(diào)整器
L20系列是專為高壓型半導(dǎo)體工藝制造氣體而設(shè)計(jì)的產(chǎn)品，基本結(jié)構(gòu)為外部金屬密封和焊接接頭規(guī)格，是具有出色外部泄漏和顆粒性能的產(chǎn)品。此外，還提供多種選件以支持多種高純度氣體，使其成為氣瓶柜的理想選擇。
| 入口壓力 | 14.8MPa以下（Max.19.6MPa） |
| 調(diào)整壓力 |
Max.0.99MPa （量程規(guī)格：0～0.2MPa、0～0.4MPa、0～0.6MPa、0～0.99MPa） |
| 氣源壓力波動(dòng) | 入口壓力：每0.1MPa調(diào)整壓力變化0.00021MPa |
| 承受壓力 | 22.2MPa（進(jìn)口側(cè)） |
| Cv值 | 0.09 |
| 工作溫度 | -10 至 +40°C |
| 外部泄漏 | 1×10－11Pa?m3/s?He（真空法） |
| 內(nèi)容量 | 4.67cm（不包括3個(gè)壓力表和接頭） |
| 大量的 | 約1.29kg |
| 安裝方法 | 使用前面板安裝螺母或后部螺釘安裝（見外部視圖） |
L21系列是專為高壓型半導(dǎo)體工藝制造氣體而設(shè)計(jì)的產(chǎn)品，基本結(jié)構(gòu)為外部金屬密封和焊接接頭規(guī)格，基本性能比L20系列有所提高。該產(chǎn)品具有優(yōu)良的外漏和顆粒性能，是氣缸柜的理想選擇。
| 入口壓力 | 14.8MPa以下（Max.24MPa） |
| 調(diào)整壓力 |
Max.0.99MPa （量程規(guī)格：0～0.2MPa、0～0.4MPa、0～0.6MPa、0～0.99MPa） |
| 氣源壓力波動(dòng) | 入口壓力：每0.1MPa調(diào)整壓力變化0.0005MPa以下 |
| 承受壓力 | 31.5 MPa（入口側(cè)）、1.5 MPa（調(diào)整側(cè)） |
| Cv值 | 0.09 |
| 工作溫度 | -10 至 +40°C |
| 外部泄漏 | 1×10－11Pa?m3/s?He（真空法） |
| 內(nèi)容量 | 4.75cm（3個(gè)壓力表，不含接頭） 4.75cm（3個(gè)壓力表，不含接頭） |
| 大量的 | 約1.4kg |
| 安裝方法 | 用后螺絲安裝 |
