德國MLase準分子激光器 MLI- 200 / 500 / 1000技術(shù)參數(shù)
MLI系列負責(zé)工業(yè)安全和環(huán)境保護
MLI- 200 / 500 / 1000主要功能
? 剛性設(shè)計
客戶利益
? 高可靠性
? 電暈預(yù)電離? 均質(zhì)梁輪廓
? 固態(tài)電路? 立即可用，無老化
? 管子技術(shù)? 管道全金屬密封
? 壽命延長數(shù)十億
脈沖
? 能量監(jiān)測器? 能量穩(wěn)定化
? 緊湊型Excimerlaser，
單相
? 易于操作，易于集成
MLI- 200 / 500 / 1000規(guī)格*
參數(shù)ArF-ArF-ArF KrF-KrF-KrF
波長（nm）193 193 248 248 248
最大重復(fù)頻率（Hz）200 500 1000 200 500 1000
穩(wěn)定脈沖能量（mJ）6 6 6 10 10 10
穩(wěn)定脈沖功率（W）1,2 3,0 6,0 2,0 5,0 10
能量穩(wěn)定性（σ，%）2 2 2 2
梁尺寸（FWHM，V x H mm）6x3 6x3 6x4 6x3 6x6
光束發(fā)散度（FWHM，V x H mrad）2x1 2x1 2x2 2x1 2x 1 2x1
脈沖持續(xù)時間（FWHM）（ns）5-10 5-10 5-10 5-15 5-15 5-16
重量/設(shè)施/尺寸
重量應(yīng)用程序。75千克
冷卻空氣
電氣230V，50/60Hz，最大2000W。
尺寸（長x寬x高）560 x 315 x 445mm
德國MLase準分子激光器 MLI- 200 / 500 / 1000
