設(shè)計(jì)一種異形擬懸臂梁結(jié)構(gòu)的螺旋線形彈性固支單向閥，并把這種單向閥安裝哈默納科中空諧波減速機(jī)CSF-8-100-2XH-F在有閥壓電泵的泵腔內(nèi)形成螺旋線形閥壓電泵，分析螺旋線形閥壓電泵的工作原理，然后依照泵內(nèi)部能量傳遞的路徑建立壓電驅(qū)動(dòng)(電壓、頻率) 為輸入與泵流動(dòng)(流量、壓差)為輸出之間的關(guān)系式， 最后加工試驗(yàn)樣機(jī)，哈默納科中空諧波減速機(jī)CSF-8-100-2XH-F并進(jìn)行性能測(cè)試試驗(yàn)，試驗(yàn)驗(yàn)證螺旋線形閥壓電泵的有效性和理論分析的正確性。
壓電泵用螺旋線形彈性固支閥(以下簡稱螺旋線形閥)，由閥體、定位器和螺旋線形曲臂(以下簡稱曲臂)組成，閥的制作材料為彈簧鋼片。為螺旋線形閥壓電泵的結(jié)構(gòu)示意圖。該泵主要包括壓電振子、泵蓋、泵體、螺旋線形閥、底座和進(jìn)/出水管。在泵體的進(jìn)口和出口處用螺釘通過定位器分別安裝有一對(duì)相互倒置的螺旋線形閥，閥體與泵體的進(jìn)口孔和出口孔相對(duì)應(yīng)哈默納科中空諧波減速機(jī)CSF-8-100-2XH-F， 安裝在泵體進(jìn)口處的螺旋線形閥為吸入閥，安裝在泵體出口處的螺旋線形閥為排出閥。