有閥壓電泵在精細化工、MEMS、生物醫(yī)學工程等領(lǐng)域具有重大應(yīng)用前景。精密諧波減速機SHD-20-50-2SH 為了克服有閥壓電泵結(jié)構(gòu)復(fù)雜、跟從與截止性差、成本高等缺點，設(shè)計一種異形擬懸臂梁結(jié)構(gòu)的螺旋線形彈性固支閥，其螺旋臂長是簡單懸臂梁閥的數(shù)倍，工作時開啟度大，且因其螺旋線形彈性結(jié)構(gòu)，閥體不僅可以上下回位，左右也具有對中功能，精密諧波減速機SHD-20-50-2SH 并把這種閥安裝在有閥壓電泵的泵腔內(nèi)形成螺旋線形閥壓電泵。
在深入分析有閥壓電泵優(yōu)缺點的基礎(chǔ)上分析螺旋線形閥壓電泵的工作原理，依照泵內(nèi)部能量傳遞的路徑建立壓電驅(qū)動(電壓、頻率)為輸入與泵流動(流量、壓差)為輸出之間的關(guān)系式，加工試驗樣機，并進行性能測試試驗，精密諧波減速機SHD-20-50-2SH 螺旋線形閥壓電泵具有泵功能，證明了其有效性和理論分析的正確性。