STP-iXA2206SBV系列磁懸浮渦輪分子泵可提供業(yè)內(nèi)領(lǐng)先的性能，可將小型電源供給集成到機(jī)載控制器內(nèi)（成熟的STP-iXA2205系列的新技術(shù)）。該泵的高度等于STP-A2203C的高度，也等于STP-iXA2205系列（不帶其電源供給(iPS-1200)）的高度。這一完全集成的產(chǎn)品易于安裝且占地面積小，可作為所有應(yīng)用工具的一體化解決方案。
用途
· 金屬（鋁）、鎢和電介質(zhì)（氧化物）以及多晶硅等離子刻蝕（氯化物、氟化物和溴化物）
· 電子回旋共振(ECR)刻蝕
· 薄膜沉積CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
· 濺射
· 離子注入源，射束線泵送和站
功能與優(yōu)勢(shì)
· 緊湊型設(shè)計(jì)，包括完全集成的控制器
· 創(chuàng)新性自傳感軸承系統(tǒng)
· 數(shù)字化5軸控制
· 與現(xiàn)有渦輪泵相比振動(dòng)級(jí)別降低了50%
· 可以配置為運(yùn)行腐蝕性制程